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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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haoning0702

金虫 (小有名气)

[求助] 苏州瑞红的光刻厚胶,曝光时间、显影时间确定

在微米量级的尖峰结构上做光刻,用苏州瑞红的胶,胶厚约4um。但是前烘90°、5min,曝光60s显影70s之后,总感觉尖峰结构上有胶没有处理掉,请教各位大神,曝光时间和显影时间怎么确定~~~有大神知道咩~~~
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
haoning0702: 金币+2 2013-09-09 19:20:19
无图无真相。
而且,做研究,还是用靠谱点儿的胶吧,不缺这几个钱,浪费时间不划算。
2楼2013-04-17 20:09:45
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haoning0702

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-04-17 20:09:45
无图无真相。
而且,做研究,还是用靠谱点儿的胶吧,不缺这几个钱,浪费时间不划算。

好的,谢谢你,最近条件已经差不多摸好了,只需要再精细一些就可以了~
3楼2013-05-15 09:27:52
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