| 查看: 720 | 回复: 2 | |||
haoning0702金虫 (小有名气)
|
[求助]
苏州瑞红的光刻厚胶，曝光时间、显影时间确定
|
| 在微米量级的尖峰结构上做光刻，用苏州瑞红的胶，胶厚约4um。但是前烘90°、5min，曝光60s显影70s之后，总感觉尖峰结构上有胶没有处理掉，请教各位大神，曝光时间和显影时间怎么确定~~~有大神知道咩~~~ |
回复此楼» 猜你喜欢
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有139人回复
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
2楼2013-04-17 20:09:45
haoning0702
金虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 1032.8
- 散金: 850
- 红花: 4
- 帖子: 283
- 在线: 88.5小时
- 虫号: 1989952
- 注册: 2012-09-10
- 性别: MM
- 专业: 光学
3楼2013-05-15 09:27:52
投票:
