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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 苏州瑞红的光刻厚胶，曝光时间、显影时间确定
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haoning0702

金虫 (小有名气)

[求助] 苏州瑞红的光刻厚胶，曝光时间、显影时间确定

在微米量级的尖峰结构上做光刻，用苏州瑞红的胶，胶厚约4um。但是前烘90°、5min，曝光60s显影70s之后，总感觉尖峰结构上有胶没有处理掉，请教各位大神，曝光时间和显影时间怎么确定~~~有大神知道咩~~~
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1楼 2013-04-17 16:29:44
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
haoning0702: 金币+2 2013-09-09 19:20:19
无图无真相。
而且，做研究，还是用靠谱点儿的胶吧，不缺这几个钱，浪费时间不划算。
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2楼2013-04-17 20:09:45
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haoning0702

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-04-17 20:09:45
无图无真相。
而且，做研究，还是用靠谱点儿的胶吧，不缺这几个钱，浪费时间不划算。

好的，谢谢你，最近条件已经差不多摸好了，只需要再精细一些就可以了~
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3楼2013-05-15 09:27:52
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