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haoning0702金虫 (小有名气)
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苏州瑞红的光刻厚胶，曝光时间、显影时间确定
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| 在微米量级的尖峰结构上做光刻，用苏州瑞红的胶，胶厚约4um。但是前烘90°、5min，曝光60s显影70s之后，总感觉尖峰结构上有胶没有处理掉，请教各位大神，曝光时间和显影时间怎么确定~~~有大神知道咩~~~ |
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yswyx 
专家顾问 (著名写手)
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2楼2013-04-17 20:09:45
haoning0702
金虫 (小有名气)
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3楼2013-05-15 09:27:52