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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 交流互助 » 磁控溅射再玻璃衬底上制备薄膜为什么做XRD测试时候测不出相应的峰呢？
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小-兔崽

金虫 (著名写手)
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11楼: Originally posted by HHBWF at 2013-04-14 22:38:05
也补排除这种可能性 不过楼主有没有更好的建议 怎样能提高结晶度呢？增加氧气浓度？提高衬底温度？还是其他什么？真心求教...

我原先也遇到这种情况了，测量XRD时，没有峰。后来我检查了真空度和溅射气压，溅射环境温度和时间，发现时间太短了，再者你用XRD测量下粉体，看是不是你球磨之后变了性质了，希望有帮助
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21楼2013-04-16 19:42:35
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HHBWF

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
22楼2013-04-16 19:52:44
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竹林风bamboo

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
据我的经验，首先会觉得是 薄膜太薄了，再有衬底玻璃的，你的电性能怎么测试啊？  你可以换种彻底在试试。
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天道酬勤
23楼2013-04-17 20:57:41
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HHBWF

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
24楼2013-04-17 21:33:44
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李淼Reeves

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你好，我也是最近做ZnO薄膜，用的是射频磁控溅射法，靶材是ZnO,氩气作为溅射气体，在玻璃和硅片上做出的薄膜也是用XRD检测出的（002）峰值非常小而且峰很宽。最近一直在探索原因，请问你现在做出比较好的ZnO薄膜了吗？
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雷厉风行
25楼2013-11-15 22:07:10
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李淼Reeves

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
研究生一年级，求各位帮助呀
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雷厉风行
26楼2013-11-15 22:09:13
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逗号一号

银虫 (初入文坛)
★
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6楼: Originally posted by 8710252 at 2013-04-14 22:23:15
薄膜很薄峰的强度一般很小，如果镀在硅片上，做一般的XRD能看到硅的峰，同时也能看见膜的峰，但是你在玻璃上，玻璃是非晶，XRD测出来应该是峰包的形状，可能是这个峰包的强度把薄膜峰的强度给盖住了，建议做掠入射

薄膜的强度一般都很弱，而硅的强度很大，薄膜的峰不是会被掩盖？
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27楼2014-08-25 10:51:47
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llyingann

新虫 (正式写手)
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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24楼: Originally posted by HHBWF at 2013-04-17 21:33:44
感觉应该不会是玻璃衬底的影响 因为以前的师兄们做也是用的玻璃衬底 唯一与我不同的是 他们用的ZnO陶瓷靶溅射 而我是用纯Zn金属靶反映溅射 通过与大家的交流 我的感觉 可能是由于薄膜太薄 再者就是因为薄膜的结晶性 ...

请问楼主问题怎么解决的呢，这个衬底峰的问题貌似也是个经典问题了，我做zns也遇到这样的问题，不知怎么解决，沉积三层薄膜都不行，我估计膜太薄是一个问题，再者可能是非晶也说不定，是不是要经过退火提高结晶性呢，求教
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28楼2014-09-16 10:38:54
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xsz2013

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
28楼: Originally posted by llyingann at 2014-09-16 10:38:54
请问楼主问题怎么解决的呢，这个衬底峰的问题貌似也是个经典问题了，我做zns也遇到这样的问题，不知怎么解决，沉积三层薄膜都不行，我估计膜太薄是一个问题，再者可能是非晶也说不定，是不是要经过退火提高结晶性呢 ...

你沉积了三层膜厚是多大呢？
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29楼2015-04-16 14:50:54
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xsz2013

铜虫 (小有名气)
送红花一朵
楼主，我也出现膜的峰要么是没有，要么就是不明显，膜厚度在300nm左右，请问你的膜厚是在多大的情况下出现了你在这个帖子中所提到的问题呢？
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30楼2015-04-16 14:52:12
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