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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 交流互助 » 磁控溅射再玻璃衬底上制备薄膜为什么做XRD测试时候测不出相应的峰呢？
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xjian2010

银虫 (正式写手)
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薄膜太薄或者是非晶结构，建议小角衍射
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31楼2015-04-16 14:53:59
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xsz2013

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
31楼: Originally posted by xjian2010 at 2015-04-16 14:53:59
薄膜太薄或者是非晶结构，建议小角衍射

小角掠射就有峰了？

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32楼2015-04-16 20:41:19
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)
★
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我之前也做过类似的，薄膜厚度在10nm左右，XRD也做不出来，掠射角也是做不出来，估计薄膜厚度至少要在20~30nm以上才能有信号被采集。另外，其他条件如氧分压，这个需要调控一下，你可能薄膜并没有形成ZnO基薄膜，可能是Zn膜。再加上你参杂Cu的话，Cu的含量肯定是很少的，所以ZnO及Cu的峰都检测不出。
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用绳命来搞科研
33楼2015-04-17 14:45:05
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