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请问四探针法测量涂层导电率的问题
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最近做了一个涂层（100microns 左右），想采用四探针法测量涂层的电导率，但现在问题是涂层在基体上很难剥离，不知道有那位虫友做过相关的实验（或者对四探针法很熟），请指点该实验在不分离涂层的情况下如何进行？涂层的厚度与基体材料对电导率的测量有什么样的影响。 先行谢过了。  |
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luoguoqiang1980
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7楼2007-09-17 14:48:34
icwafer
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2楼2007-09-14 21:34:03
fuzp
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ymxiong(金币+4,VIP+0):谢谢详细回复，我的基体是导电的，涂层/基体界面有塑性变型，涂层厚度在100um左右，如何考虑界面电子散射？
ymxiong(金币+4,VIP+0):谢谢详细回复，我的基体是导电的，涂层/基体界面有塑性变型，涂层厚度在100um左右，如何考虑界面电子散射？
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基底不导电的话，测量简单，分析的时候关系复杂，因为还和表面及界面对电子的散射状况相关。若设d/l=K，则近似的，r0/r=1-(3/16K)*(2-p-q), d为膜厚，l为电子平均自由程，r0是体材料的电阻率。p,q分别表征表面和界面对电子的散射状况。不过你的薄膜应该算比较厚，所以电阻率和厚度没什么关系。但是如果基底导电，测量的时候就得考虑基底的并联作用了。 [ Last edited by fuzp on 2007-9-15 at 05:44 ] |
3楼2007-09-15 00:14:26
swingbj
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4楼2007-09-15 08:14:23