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ymxiong

[交流] 请问四探针法测量涂层导电率的问题

最近做了一个涂层(100microns 左右),想采用四探针法测量涂层的电导率,但现在问题是涂层在基体上很难剥离,不知道有那位虫友做过相关的实验(或者对四探针法很熟),请指点该实验在不分离涂层的情况下如何进行?涂层的厚度与基体材料对电导率的测量有什么样的影响。
先行谢过了。
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icwafer

金虫 (正式写手)


ymxiong(金币+1,VIP+0):谢谢参与
测量方块电阻,乘以厚度就可以了,注意单位换算。
为人民币服务!
2楼2007-09-14 21:34:03
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fuzp

铁杆木虫 (正式写手)

★ ★ ★ ★
ymxiong(金币+4,VIP+0):谢谢详细回复,我的基体是导电的,涂层/基体界面有塑性变型,涂层厚度在100um左右,如何考虑界面电子散射?
基底不导电的话,测量简单,分析的时候关系复杂,因为还和表面及界面对电子的散射状况相关。若设d/l=K,则近似的,r0/r=1-(3/16K)*(2-p-q), d为膜厚,l为电子平均自由程,r0是体材料的电阻率。p,q分别表征表面和界面对电子的散射状况。不过你的薄膜应该算比较厚,所以电阻率和厚度没什么关系。但是如果基底导电,测量的时候就得考虑基底的并联作用了。

[ Last edited by fuzp on 2007-9-15 at 05:44 ]
3楼2007-09-15 00:14:26
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swingbj

木虫 (小有名气)


ymxiong(金币+1,VIP+0):谢谢对四探针法测量的回复。但就是无相关文献!
用银胶粘上四根引线测量就是了,只是计算时注意一下就行了。可以参考YBCO涂层导体的测量方法,同时注意表面电阻的概念,至少在超导涂层材料里两者是不一样的,可以找相关文献看看。
4楼2007-09-15 08:14:23
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ymxiong

引用回帖:
Originally posted by icwafer at 2007-9-14 09:34 PM:
测量方块电阻,乘以厚度就可以了,注意单位换算。

四探针放成方块形测量,但读了一个这样的文献,说各点下在涂层内有一个测量球(可能超出涂层厚度),方块电阻的测量是否就是表面电阻?我的涂层和基体都是导电的。
5楼2007-09-15 11:40:21
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luoguoqiang1980

铜虫 (小有名气)


ymxiong(金币+1,VIP+0):谢谢回复
测表面电阻(就是方电阻),测量厚度,即可以得到体电阻率(电阻率),这个方法是最简单的。
6楼2007-09-15 15:21:03
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luoguoqiang1980

铜虫 (小有名气)

用范德瓦四探针法所用的设备并没有测量球 ,你所说的测量球我没有见过(我只见过针状&刀口状的)。也不要太用力,因为四探针法就是消除电极误差来测量电阻非常低的导体(或半导体)。
7楼2007-09-17 14:48:34
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luoguoqiang1980

铜虫 (小有名气)

★ ★
ymxiong(金币+2,VIP+0):非常感谢!心里有点底了。哈哈。不过金币剩得太少,希望虫友勿见怪。
就算是基体是导体也无所谓,因为我们是先测量表面电阻率,这样的话,只要你的厚度是准确的,你的体电阻率就肯定是准确的。
8楼2007-09-17 14:51:27
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caoqigao

金虫 (正式写手)



ymxiong(金币+1,VIP+0):非常感谢回复!采用融化的方法是很好的创意,但我的情况不同,基体熔点很高,1000度以上会破坏我的涂层并改变其性能。不过还是非常感谢您的积极参与。
既然是涂层,那么涂层和基体的熔点是不一样的呀,而且涂层的厚度还是比较厚的,一般来讲,基体的熔点比较低吧,那就可以把基体给熔掉。如果怕破坏涂层,可以在真空或气氛保护下熔。
9楼2007-09-17 14:53:47
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