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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 水浴法制ZnS薄膜的厚度问题
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caowuxing

金虫 (小有名气)

[求助] 水浴法制ZnS薄膜的厚度问题

小弟是用水浴法做的ZnS薄膜，用台阶仪测厚度，因为膜是透明的，所以没办法在后续步骤中做台阶，之前试过在衬底上贴胶带，但是测膜厚的时候还是不大理想（当然也有膜可能比较薄的原因），所以想问一下各位大神，有没有什么办法可以做出比较好的台阶，或者有没有别的途径测出膜厚？
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1楼 2013-04-07 15:34:17
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w420072c

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
zhaohaixing: 欢迎来功能材料版块交流~ 2013-04-07 15:59:49
caowuxing: 金币+3, ★有帮助 2013-04-07 17:11:10
做基底断面SEM可以，比如我曾在玻璃基底上沉积半导体，SEM老师那里有剪切玻璃的工具从断面可以很清楚地看到半导体膜厚
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2楼2013-04-07 15:39:15
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w420072c

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

fbqrdzs: 鼓励交流 2013-08-14 09:46:58
另外我是在玻璃上遮盖胶带，然后旋涂TiO，胶带附近的膜厚会受胶带影响，比膜中间高出不少
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3楼2013-04-07 17:54:09
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caowuxing

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by w420072c at 2013-04-07 17:54:09
另外我是在玻璃上遮盖胶带，然后旋涂TiO，胶带附近的膜厚会受胶带影响，比膜中间高出不少

我之前也贴胶带，而且揭了胶带之后样品表面也有明显的台阶，但是用台阶仪测的时候就是找不到台阶
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4楼2013-04-07 19:02:06
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匿名

用户注销 (正式写手)
感谢参与，应助指数 +1
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5楼2013-04-07 20:00:26
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liujun719

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
nofrunolif: 金币+1, 鼓励交流 2013-04-07 21:54:05
水浴做的ZnS！惊！太薄了，别用台阶了，测不出的，多弄些样测测断面SEM吧，也许可以测出，我的也是这么测的
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6楼2013-04-07 21:18:46
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yuan999

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
fbqrdzs: 鼓励交流 2013-08-14 09:47:05
做个FESEM断面，很容易测出膜厚，而且比台阶仪准确
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我~心~依~旧
7楼2013-04-08 10:46:55
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hqh2011

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
fbqrdzs: 鼓励交流 2013-08-14 09:47:10
可以采用超薄切片技术实现。
另外，这个已经被人做的很多了啊，有什么别的优势吗？
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8楼2013-04-08 18:08:26
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ch-w-qiang

新虫 (小有名气)
能做出纯ZnS吗？
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9楼2013-08-13 11:29:48
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马踏冰河

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

fbqrdzs: 应助指数+1, 鼓励交流 2013-08-14 09:47:18
用膜厚仪测啊  能测出来
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10楼2013-08-13 12:27:53
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