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caowuxing

金虫 (小有名气)

[求助] 水浴法制ZnS薄膜的厚度问题

小弟是用水浴法做的ZnS薄膜,用台阶仪测厚度,因为膜是透明的,所以没办法在后续步骤中做台阶,之前试过在衬底上贴胶带,但是测膜厚的时候还是不大理想(当然也有膜可能比较薄的原因),所以想问一下各位大神,有没有什么办法可以做出比较好的台阶,或者有没有别的途径测出膜厚?
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yuan999

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
fbqrdzs: 鼓励交流 2013-08-14 09:47:05
做个FESEM断面,很容易测出膜厚,而且比台阶仪准确
我~心~依~旧
7楼2013-04-08 10:46:55
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w420072c

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
zhaohaixing: 欢迎来功能材料版块交流~ 2013-04-07 15:59:49
caowuxing: 金币+3, 有帮助 2013-04-07 17:11:10
做基底断面SEM可以,比如我曾在玻璃基底上沉积半导体,SEM老师那里有剪切玻璃的工具从断面可以很清楚地看到半导体膜厚
2楼2013-04-07 15:39:15
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w420072c

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

fbqrdzs: 鼓励交流 2013-08-14 09:46:58
另外我是在玻璃上遮盖胶带,然后旋涂TiO,胶带附近的膜厚会受胶带影响,比膜中间高出不少
3楼2013-04-07 17:54:09
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caowuxing

金虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by w420072c at 2013-04-07 17:54:09
另外我是在玻璃上遮盖胶带,然后旋涂TiO,胶带附近的膜厚会受胶带影响,比膜中间高出不少

我之前也贴胶带,而且揭了胶带之后样品表面也有明显的台阶,但是用台阶仪测的时候就是找不到台阶
4楼2013-04-07 19:02:06
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