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[求助]
求助，各位大虾，这张FTIR图谱中能看出拿几个位置的特征峰，杂峰略多
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样品是在衬底（180μm）表面用PECVD沉积了80nm左右厚度的SiNx薄膜，考虑的是薄膜的钝化效果，钝化效果直接由薄膜中的H含量决定，所以我想知道薄膜里面的SI-H N-H SI-N的含量 希望大侠有所指教  IMG_0054.JPG |
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