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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告

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apmfly

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
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虫号: 1473306
注册: 2011-11-02
专业: 半导体材料

[求助] 求助，各位大虾，这张FTIR图谱中能看出拿几个位置的特征峰，杂峰略多

样品是在衬底（180μm）表面用PECVD沉积了80nm左右厚度的SiNx薄膜，考虑的是薄膜的钝化效果，钝化效果直接由薄膜中的H含量决定，所以我想知道薄膜里面的SI-H N-H SI-N的含量

希望大侠有所指教

IMG_0054.JPG

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1楼 2013-04-02 22:08:05

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