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apmfly

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助,各位大虾,这张FTIR图谱中能看出拿几个位置的特征峰,杂峰略多

样品是在衬底(180μm)表面用PECVD沉积了80nm左右厚度的SiNx薄膜,考虑的是薄膜的钝化效果,钝化效果直接由薄膜中的H含量决定,所以我想知道薄膜里面的SI-H N-H SI-N的含量

希望大侠有所指教

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