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[求助] 薄膜电导率测试

半导体薄膜,膜厚度不均匀,想用四探针测试电导率,可行否,是否需要镀电极.
以前测试霍尔, 没镀电极,测探针间电流时,不同探针间电流不一样,所以没测试出来
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1楼 2013-04-02 10:43:19

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引用回帖:

2楼: Originally posted by fbqrdzs at 2013-04-02 11:58:12
不需要镀电极，你在用导电的硅片做的薄膜，热处理之前将边角处擦掉，然后再将探针分别搭在导电硅片上和薄膜上。如果你的薄膜不太均匀的话，每次换地方做的结果可能不一样，而且不是每次都能搭上。

我想用四探针法，测试。。