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want1

铜虫 (小有名气)

[求助] 薄膜电导率测试

半导体薄膜,膜厚度不均匀,想用四探针测试电导率,可行否,是否需要镀电极.
以前测试霍尔, 没镀电极,测探针间电流时,不同探针间电流不一样,所以没测试出来
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匿名

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want1: 金币+4, 有帮助 2013-04-02 14:53:00
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流,感谢对本版的支持 2013-04-02 21:13:17
本帖仅楼主可见
2楼2013-04-02 11:58:12
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want1

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by fbqrdzs at 2013-04-02 11:58:12
不需要镀电极,你在用导电的硅片做的薄膜,热处理之前将边角处擦掉,然后再将探针分别搭在导电硅片上和薄膜上。如果你的薄膜不太均匀的话,每次换地方做的结果可能不一样,而且不是每次都能搭上。

我想用四探针法,测试。。
3楼2013-04-02 14:52:51
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yshit

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
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want1: 金币+4, 有帮助 2013-04-03 11:29:37
用四探针测试不需要镀电极。如果薄膜不均匀,则测出结果不准确。
秋天到了
4楼2013-04-03 11:22:42
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