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月下冰魂

木虫 (正式写手)

[求助] Si MOSFET器件的阈值电压

请问,就传统的Si MOSFET 工艺,制备出来的Si 的n-MOSFET和p-MOSFET的阈值电压是多少呢?
重点是p-MOSFET的阈值电压哦。当然,阈值电压与很多因素有关,若是Al电极,其它因素都不叫理想的条件下的大概值。
要是有文献出处就最好了。。。加分哦。。
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奋斗。。。
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糊涂小神童

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
月下冰魂: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2013-04-19 12:58:53
月下冰魂: 金币+2, ★★★★★最佳答案 2013-04-19 12:59:11
一般公式 Vth=Vth0+γ(根号下2倍费米势+Vsb减去根号下2倍费米势),伽马γ为体效应系数可以查到,也可以根据公式求出来。具体的去图书馆借本书,《半导体器件物理与工艺》第二版,或者《模拟CMOS集成电路设计》,书中有详解。祝愿你早日得到想要的答案。
5楼2013-04-02 13:50:09
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alienpig

木虫 (正式写手)

zhaohaixing: 欢迎来功能材料版块交流~ 2013-04-02 09:44:44
硅工艺大多用的是poly-si做栅极吧,这要看你掺杂的状况了。
2楼2013-04-01 23:36:00
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
zhaohaixing: 欢迎来功能材料版块交流~ 2013-04-02 09:45:00
月下冰魂: 金币+3, ★★★很有帮助 2013-04-19 12:58:22
这个,不同的线宽条件下,也就是沟道长度不同的条件下,都是不同的。也就是说0.35工艺和0.18就有不同。
建议你去水木的Metech,那里都是做设计的人,对这个比较懂。
3楼2013-04-02 04:57:10
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月下冰魂

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by alienpig at 2013-04-01 23:36:00
硅工艺大多用的是poly-si做栅极吧,这要看你掺杂的状况了。

要是就用Al做电极呢。。。
奋斗。。。
4楼2013-04-02 09:19:15
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