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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » Si MOSFET器件的阈值电压
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月下冰魂

木虫 (正式写手)

[求助] Si MOSFET器件的阈值电压

请问，就传统的Si MOSFET 工艺，制备出来的Si 的n-MOSFET和p-MOSFET的阈值电压是多少呢？
重点是p-MOSFET的阈值电压哦。当然，阈值电压与很多因素有关，若是Al电极，其它因素都不叫理想的条件下的大概值。
要是有文献出处就最好了。。。加分哦。。
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奋斗。。。
1楼 2013-04-01 20:48:04
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alienpig

木虫 (正式写手)
zhaohaixing: 欢迎来功能材料版块交流~ 2013-04-02 09:44:44
硅工艺大多用的是poly-si做栅极吧，这要看你掺杂的状况了。
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2楼2013-04-01 23:36:00
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
zhaohaixing: 欢迎来功能材料版块交流~ 2013-04-02 09:45:00
月下冰魂: 金币+3, ★★★很有帮助 2013-04-19 12:58:22
这个，不同的线宽条件下，也就是沟道长度不同的条件下，都是不同的。也就是说0.35工艺和0.18就有不同。
建议你去水木的Metech，那里都是做设计的人，对这个比较懂。
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3楼2013-04-02 04:57:10
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月下冰魂

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by alienpig at 2013-04-01 23:36:00
硅工艺大多用的是poly-si做栅极吧，这要看你掺杂的状况了。

要是就用Al做电极呢。。。
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奋斗。。。
4楼2013-04-02 09:19:15
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糊涂小神童

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
月下冰魂: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2013-04-19 12:58:53
月下冰魂: 金币+2, ★★★★★最佳答案 2013-04-19 12:59:11
一般公式 Vth=Vth0+γ（根号下2倍费米势+Vsb减去根号下2倍费米势），伽马γ为体效应系数可以查到，也可以根据公式求出来。具体的去图书馆借本书，《半导体器件物理与工艺》第二版，或者《模拟CMOS集成电路设计》，书中有详解。祝愿你早日得到想要的答案。
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5楼2013-04-02 13:50:09
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alienpig

木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 月下冰魂 at 2013-04-02 09:19:15
要是就用Al做电极呢。。。...

那功函数差就是固定了的，doping知道的话，理论上可以算，参见4楼同学回复，不过你的界面态还是不知道，所以也就是估算一下而已。
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6楼2013-04-02 17:37:56
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