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月下冰魂

木虫 (正式写手)

[求助] Si MOSFET器件的阈值电压

请问,就传统的Si MOSFET 工艺,制备出来的Si 的n-MOSFET和p-MOSFET的阈值电压是多少呢?
重点是p-MOSFET的阈值电压哦。当然,阈值电压与很多因素有关,若是Al电极,其它因素都不叫理想的条件下的大概值。
要是有文献出处就最好了。。。加分哦。。
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奋斗。。。
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alienpig

木虫 (正式写手)

zhaohaixing: 欢迎来功能材料版块交流~ 2013-04-02 09:44:44
硅工艺大多用的是poly-si做栅极吧,这要看你掺杂的状况了。
2楼2013-04-01 23:36:00
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alienpig

木虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 月下冰魂 at 2013-04-02 09:19:15
要是就用Al做电极呢。。。...

那功函数差就是固定了的,doping知道的话,理论上可以算,参见4楼同学回复,不过你的界面态还是不知道,所以也就是估算一下而已。
6楼2013-04-02 17:37:56
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