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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 急求：如何对纳米压印Si模板的表面进行处理达到防粘的效果？
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gmy007

银虫 (小有名气)

[求助] 急求：如何对纳米压印Si模板的表面进行处理达到防粘的效果？

我想用Si模板进行压印，怎么对模板表面进行防粘处理？很着急，谢谢
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1楼 2013-03-27 16:39:53
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Jackcd12

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
gmy007: 金币+1 2013-03-28 10:20:19
你这种提法有问题，如果处理成不粘连后，你的‘墨水’怎么能附着的Si表面呢？因此，你需要根据你的‘墨水’和Si的特性来处理，比如，Si表面氢终端后就疏水，但你的墨水能否在这个H-Si表面附着吗？
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Themoreamanlearns,themoreheknowshisignorance!
2楼2013-03-27 20:10:09
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
gmy007: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-03-28 10:19:52
引用回帖:
2楼: Originally posted by Jackcd12 at 2013-03-27 20:10:09
你这种提法有问题，如果处理成不粘连后，你的‘墨水’怎么能附着的Si表面呢？因此，你需要根据你的‘墨水’和Si的特性来处理，比如，Si表面氢终端后就疏水，但你的墨水能否在这个H-Si表面附着吗？

又是你……
谁告诉你压印需要所谓的“墨水”附着在Si表面呢？咱是做科研，不是凭自己领域里面的那点儿想像……
楼主要的东西是脱模剂或者叫防粘剂，有很多是液体的，直接涂覆在模板表面，也可以用浸泡的方式。一般卖纳米压印胶的地方都有。代用品也大把大把的。典型的像杜邦的液体teflon。
如果是想用干法脱模涂层，有类teflon涂层，类金刚石涂层，甚至SiO都可以，都可以用PECVD实现。
英文的话，你可以搜anti-adhesion layer之类的词
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3楼2013-03-27 20:43:43
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gmy007

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-03-27 20:43:43
又是你……
谁告诉你压印需要所谓的“墨水”附着在Si表面呢？咱是做科研，不是凭自己领域里面的那点儿想像……
楼主要的东西是脱模剂或者叫防粘剂，有很多是液体的，直接涂覆在模板表面，也可以用浸泡的方式。一 ...

我将甲氧基、氯取代的全氟硅烷键接到模板表面，但效果不是很好，不知道是不是没接上去，总之很谢谢你
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4楼2013-03-28 10:19:35
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
gmy007: 金币+2 2013-04-01 09:20:14
引用回帖:
4楼: Originally posted by gmy007 at 2013-03-28 10:19:35
我将甲氧基、氯取代的全氟硅烷键接到模板表面，但效果不是很好，不知道是不是没接上去，总之很谢谢你...

还有一个办法。就是做ICP干法刻硅的地方，都可以用Bosch工艺，在硅表面做钝化处理，形成一个类似teflon的纳米级薄层。你可以考虑找这种地方做一下，我们曾经做过，疏水性非常好，都是用来做疏水表面的，而且非常均匀。
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5楼2013-03-28 17:17:23
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gmy007

银虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2013-03-28 17:17:23
还有一个办法。就是做ICP干法刻硅的地方，都可以用Bosch工艺，在硅表面做钝化处理，形成一个类似teflon的纳米级薄层。你可以考虑找这种地方做一下，我们曾经做过，疏水性非常好，都是用来做疏水表面的，而且非常均 ...

能说的具体一点吗？我刚做这方面不久，不太了解Bosch工艺是什么意思，谢谢
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6楼2013-04-01 09:20:10
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by gmy007 at 2013-04-01 09:20:10
能说的具体一点吗？我刚做这方面不久，不太了解Bosch工艺是什么意思，谢谢...

你查查做深硅刻蚀方面的资料就知道了。
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7楼2013-04-01 17:14:12
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gmy007

银虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by yswyx at 2013-04-01 17:14:12
你查查做深硅刻蚀方面的资料就知道了。...

Thank you
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8楼2013-04-02 08:39:12
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zhaoyunyuhou

新虫 (初入文坛)
Uv胶水脱模性够好，Si不需要疏水处理，还有Uv灯对脱模也是关键！
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9楼2014-12-27 20:46:46
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