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gmy007银虫 (小有名气)
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急求：如何对纳米压印Si模板的表面进行处理达到防粘的效果？
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| 我想用Si模板进行压印，怎么对模板表面进行防粘处理？很着急，谢谢 |
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Jackcd12
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2楼2013-03-27 20:10:09
yswyx 
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【答案】应助回帖
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gmy007: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-03-28 10:19:52
感谢参与，应助指数 +1
gmy007: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-03-28 10:19:52
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又是你…… 谁告诉你压印需要所谓的“墨水”附着在Si表面呢？咱是做科研，不是凭自己领域里面的那点儿想像…… 楼主要的东西是脱模剂或者叫防粘剂，有很多是液体的，直接涂覆在模板表面，也可以用浸泡的方式。一般卖纳米压印胶的地方都有。代用品也大把大把的。典型的像杜邦的液体teflon。 如果是想用干法脱模涂层，有类teflon涂层，类金刚石涂层，甚至SiO都可以，都可以用PECVD实现。 英文的话，你可以搜anti-adhesion layer之类的词 |
3楼2013-03-27 20:43:43
gmy007
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4楼2013-03-28 10:19:35
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5楼2013-03-28 17:17:23
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6楼2013-04-01 09:20:10
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7楼2013-04-01 17:14:12
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