24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 2405  |  回复: 8

gmy007

银虫 (小有名气)

[求助] 急求:如何对纳米压印Si模板的表面进行处理达到防粘的效果?

我想用Si模板进行压印,怎么对模板表面进行防粘处理?很着急,谢谢
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Jackcd12

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
gmy007: 金币+1 2013-03-28 10:20:19
你这种提法有问题,如果处理成不粘连后,你的‘墨水’怎么能附着的Si表面呢?因此,你需要根据你的‘墨水’和Si的特性来处理,比如,Si表面氢终端后就疏水,但你的墨水能否在这个H-Si表面附着吗?
Themoreamanlearns,themoreheknowshisignorance!
2楼2013-03-27 20:10:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
gmy007: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-03-28 10:19:52
引用回帖:
2楼: Originally posted by Jackcd12 at 2013-03-27 20:10:09
你这种提法有问题,如果处理成不粘连后,你的‘墨水’怎么能附着的Si表面呢?因此,你需要根据你的‘墨水’和Si的特性来处理,比如,Si表面氢终端后就疏水,但你的墨水能否在这个H-Si表面附着吗?

又是你……
谁告诉你压印需要所谓的“墨水”附着在Si表面呢?咱是做科研,不是凭自己领域里面的那点儿想像……
楼主要的东西是脱模剂或者叫防粘剂,有很多是液体的,直接涂覆在模板表面,也可以用浸泡的方式。一般卖纳米压印胶的地方都有。代用品也大把大把的。典型的像杜邦的液体teflon。
如果是想用干法脱模涂层,有类teflon涂层,类金刚石涂层,甚至SiO都可以,都可以用PECVD实现。
英文的话,你可以搜anti-adhesion layer之类的词
3楼2013-03-27 20:43:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gmy007

银虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-03-27 20:43:43
又是你……
谁告诉你压印需要所谓的“墨水”附着在Si表面呢?咱是做科研,不是凭自己领域里面的那点儿想像……
楼主要的东西是脱模剂或者叫防粘剂,有很多是液体的,直接涂覆在模板表面,也可以用浸泡的方式。一 ...

我将甲氧基、氯取代的全氟硅烷键接到模板表面,但效果不是很好,不知道是不是没接上去,总之很谢谢你
4楼2013-03-28 10:19:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★
gmy007: 金币+2 2013-04-01 09:20:14
引用回帖:
4楼: Originally posted by gmy007 at 2013-03-28 10:19:35
我将甲氧基、氯取代的全氟硅烷键接到模板表面,但效果不是很好,不知道是不是没接上去,总之很谢谢你...

还有一个办法。就是做ICP干法刻硅的地方,都可以用Bosch工艺,在硅表面做钝化处理,形成一个类似teflon的纳米级薄层。你可以考虑找这种地方做一下,我们曾经做过,疏水性非常好,都是用来做疏水表面的,而且非常均匀。
5楼2013-03-28 17:17:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gmy007

银虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2013-03-28 17:17:23
还有一个办法。就是做ICP干法刻硅的地方,都可以用Bosch工艺,在硅表面做钝化处理,形成一个类似teflon的纳米级薄层。你可以考虑找这种地方做一下,我们曾经做过,疏水性非常好,都是用来做疏水表面的,而且非常均 ...

能说的具体一点吗?我刚做这方面不久,不太了解Bosch工艺是什么意思,谢谢
6楼2013-04-01 09:20:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
6楼: Originally posted by gmy007 at 2013-04-01 09:20:10
能说的具体一点吗?我刚做这方面不久,不太了解Bosch工艺是什么意思,谢谢...

你查查做深硅刻蚀方面的资料就知道了。
7楼2013-04-01 17:14:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gmy007

银虫 (小有名气)

引用回帖:
7楼: Originally posted by yswyx at 2013-04-01 17:14:12
你查查做深硅刻蚀方面的资料就知道了。...

Thank you
8楼2013-04-02 08:39:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhaoyunyuhou

新虫 (初入文坛)

Uv胶水脱模性够好,Si不需要疏水处理,还有Uv灯对脱模也是关键!
9楼2014-12-27 20:46:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 gmy007 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 307求调剂 +3 Youth@@ 2026-04-07 3/150 2026-04-07 22:00 by hemengdong
[考研] 复试调剂 +9 春日来信- 2026-04-03 9/450 2026-04-07 15:17 by 尽舜尧1
[考研] 初试301,代码085701环境工程,本硕一致,四六级已过,有二区一作,共发表5篇论文 +11 axibli 2026-04-01 12/600 2026-04-07 11:20 by audery861007
[硕博家园] 0856材料化工求调剂,一志愿211,初试成绩349 +4 江淮北月 2026-04-05 4/200 2026-04-06 22:44 by chenzhimin
[考研] 285求调剂 +5 mapmath 2026-04-06 6/300 2026-04-06 17:18 by 蓝云思雨
[考研] 一志愿武汉理工大学080200机械工程308分,求调剂 +4 终不似从前 2026-04-05 4/200 2026-04-06 11:46 by 考研学校招点人
[考研] 0703化学 +9 goldtt 2026-04-02 11/550 2026-04-06 10:35 by 无际的草原
[考研] 考研调剂 +5 美丽的youth_ 2026-04-04 6/300 2026-04-06 06:57 by houyaoxu
[考研] 化学357分,考研调剂 +11 .Starry. 2026-04-04 12/600 2026-04-06 06:28 by houyaoxu
[考研] 本科211,293分请求调剂 +8 莲菜就是藕吧 2026-04-03 9/450 2026-04-05 19:12 by 蓝云思雨
[考研] 341求调剂 +3 学无止境,冲 2026-04-05 3/150 2026-04-05 09:40 by lbsjt
[考研] 323分(计算机视觉和大模型项目)能直接上手 +3 chaoxiicy 2026-04-01 3/150 2026-04-05 00:50 by chongya
[考研] 372分材料与化工(085600)一志愿湖南大学求调剂 +3 蓝笺片 2026-04-03 4/200 2026-04-03 17:58 by Jimmyandyou
[考研] 071000生物学调剂 +8 知昭蔓 2026-04-02 8/400 2026-04-03 10:36 by macy2011
[考研] 一志愿安徽大学0817化学工程与技术,求调剂 +14 我不是只因 2026-04-02 15/750 2026-04-03 09:49 by 蓝云思雨
[考研] 材料专业求调剂 +10 月月鸟木 2026-04-01 10/500 2026-04-02 12:57 by wxiongid
[考研] 一志愿北京科技大学085601材料工程英一数二初试总分335求调剂 +9 双马尾痞老板2 2026-04-01 9/450 2026-04-02 12:14 by oooqiao
[考研] 求调剂0703 +5 周嘉尧 2026-03-31 8/400 2026-04-01 20:32 by ltltkkk
[考研] 303分 0807学硕求调剂 +3 TYC3632 2026-04-01 3/150 2026-04-01 19:24 by lwk2004
[考研] 353求调剂 +4 拉钩不许变 2026-04-01 4/200 2026-04-01 18:10 by 记事本2026
信息提示
请填处理意见