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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 无机/物化 » 无机化学 » 氧化铝包覆膜
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2007302718

新虫 (初入文坛)

[求助] 氧化铝包覆膜

用ALD方式在无机物表面沉积了一层氧化铝薄膜，请问可以通过哪些方式来表征表面薄膜的性质、表面覆盖率以及基体材料与包覆膜界面的一些特性
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1楼 2013-03-24 22:19:16
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cs104

金虫 (正式写手)

我宅，故我帅；我帅，故我在。

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
houchenxmc: 金币+2, ICEPI+1, 谢谢参与 2013-03-25 09:23:13
2007302718: 金币+2 2013-03-25 22:06:00
以前做过镀DLC的实验，用的是AFM。目的是要耐磨性。
简单说一下，供你参考。

做样品，一半有镀膜，一半保护起来（即没镀）
然后用AFM从一边直线扫到另一边，得出一条直线。(如附图，纯手画)
可以得到直线度、粗糙度、厚度等参数。
然后，进行研磨，再扫描一次AFM，对比两图，观察耐磨性。
(注，基材表面必须足够平整)
像我画的图，1的直线度相对2较好，但粗糙度相对2较差。2的直线度相对1差，但粗糙度相对1较好。
大概就是这个意思。

无标题.jpg
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工作过的内容：chemically mechanical polishing、Nanoparticles polishing slurry、Lapping、etch、电镀及污水处理、丙烯酸树脂及其油墨
3楼2013-03-25 08:46:46
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mengyonghong

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
houchenxmc: 金币+2, 谢谢参与 2013-03-25 09:22:55
houchenxmc: 回帖置顶 2013-03-25 09:22:56
对于纳米级（厚度为0.1-1000nm）的氧化铝薄膜，采用椭偏仪进行测量和分析，可以得到：（1）薄膜厚度；（2）薄膜折射率n和消光系数k；（3）薄膜表面的粗糙度；（4）薄膜与基底（此处为无机物）的交界面等情况。
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2楼2013-03-25 06:59:26
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2007302718

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by mengyonghong at 2013-03-25 06:59:26
对于纳米级（厚度为0.1-1000nm）的氧化铝薄膜，采用椭偏仪进行测量和分析，可以得到：（1）薄膜厚度；（2）薄膜折射率n和消光系数k；（3）薄膜表面的粗糙度；（4）薄膜与基底（此处为无机物）的交界面等情况。

请问我的基体材料是粉体材料，粒径为几十个纳米，这个方式适用么
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4楼2013-03-25 12:19:35
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2007302718

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by cs104 at 2013-03-25 08:46:46
以前做过镀DLC的实验，用的是AFM。目的是要耐磨性。
简单说一下，供你参考。

做样品，一半有镀膜，一半保护起来（即没镀）
然后用AFM从一边直线扫到另一边，得出一条直线。(如附图，纯手画)
可以得到直线度 ...

忘了说了，我的基体材料是粉体。。。谢谢~~
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5楼2013-03-25 12:21:12
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