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2007302718

新虫 (初入文坛)

[求助] 氧化铝包覆膜

用ALD方式在无机物表面沉积了一层氧化铝薄膜,请问可以通过哪些方式来表征表面薄膜的性质、表面覆盖率以及基体材料与包覆膜界面的一些特性
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mengyonghong

银虫 (小有名气)

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houchenxmc: 金币+2, 谢谢参与 2013-03-25 09:22:55
houchenxmc: 回帖置顶 2013-03-25 09:22:56
对于纳米级(厚度为0.1-1000nm)的氧化铝薄膜,采用椭偏仪进行测量和分析,可以得到:(1)薄膜厚度;(2)薄膜折射率n和消光系数k;(3)薄膜表面的粗糙度;(4)薄膜与基底(此处为无机物)的交界面等情况。
2楼2013-03-25 06:59:26
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cs104

金虫 (正式写手)

我宅,故我帅;我帅,故我在。

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houchenxmc: 金币+2, ICEPI+1, 谢谢参与 2013-03-25 09:23:13
2007302718: 金币+2 2013-03-25 22:06:00
以前做过镀DLC的实验,用的是AFM。目的是要耐磨性。
简单说一下,供你参考。

做样品,一半有镀膜,一半保护起来(即没镀)
然后用AFM从一边直线扫到另一边,得出一条直线。(如附图,纯手画)
可以得到直线度、粗糙度、厚度等参数。
然后,进行研磨,再扫描一次AFM,对比两图,观察耐磨性。
(注,基材表面必须足够平整)
像我画的图,1的直线度相对2较好,但粗糙度相对2较差。2的直线度相对1差,但粗糙度相对1较好。
大概就是这个意思。

无标题.jpg

工作过的内容:chemically mechanical polishing、Nanoparticles polishing slurry、Lapping、etch、电镀及污水处理、丙烯酸树脂及其油墨
3楼2013-03-25 08:46:46
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2007302718

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by mengyonghong at 2013-03-25 06:59:26
对于纳米级(厚度为0.1-1000nm)的氧化铝薄膜,采用椭偏仪进行测量和分析,可以得到:(1)薄膜厚度;(2)薄膜折射率n和消光系数k;(3)薄膜表面的粗糙度;(4)薄膜与基底(此处为无机物)的交界面等情况。

请问我的基体材料是粉体材料,粒径为几十个纳米,这个方式适用么
4楼2013-03-25 12:19:35
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2007302718

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by cs104 at 2013-03-25 08:46:46
以前做过镀DLC的实验,用的是AFM。目的是要耐磨性。
简单说一下,供你参考。

做样品,一半有镀膜,一半保护起来(即没镀)
然后用AFM从一边直线扫到另一边,得出一条直线。(如附图,纯手画)
可以得到直线度 ...

忘了说了,我的基体材料是粉体。。。谢谢~~
5楼2013-03-25 12:21:12
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cs104

金虫 (正式写手)

我宅,故我帅;我帅,故我在。

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fds329: 金币+1, 应助指数+1, 感谢回帖 2013-03-28 13:36:35
引用回帖:
5楼: Originally posted by 2007302718 at 2013-03-25 12:21:12
忘了说了,我的基体材料是粉体。。。谢谢~~...

不合适。
我之前的基本材料为研磨得很光滑的小片(正方形)
工作过的内容:chemically mechanical polishing、Nanoparticles polishing slurry、Lapping、etch、电镀及污水处理、丙烯酸树脂及其油墨
6楼2013-03-25 14:19:02
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mengyonghong

银虫 (小有名气)

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fds329: 金币+1, 感谢回帖 2013-03-28 13:37:16
引用回帖:
3楼: Originally posted by cs104 at 2013-03-25 08:46:46
以前做过镀DLC的实验,用的是AFM。目的是要耐磨性。
简单说一下,供你参考。

做样品,一半有镀膜,一半保护起来(即没镀)
然后用AFM从一边直线扫到另一边,得出一条直线。(如附图,纯手画)
可以得到直线度 ...

橢偏不适合测量非常微小基底(粉末)上的薄膜,因为探测光束直径一般在毫米量极。对于粉末包被膜层,也许采用XPS方法通过成分分析间接计算合适。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
7楼2013-03-26 06:14:11
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