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氧化铝包覆膜
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| 用ALD方式在无机物表面沉积了一层氧化铝薄膜，请问可以通过哪些方式来表征表面薄膜的性质、表面覆盖率以及基体材料与包覆膜界面的一些特性 |
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 椭偏测量 |
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mengyonghong
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2楼2013-03-25 06:59:26
cs104
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【答案】应助回帖
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houchenxmc: 金币+2, ICEPI+1, 谢谢参与 2013-03-25 09:23:13
2007302718: 金币+2 2013-03-25 22:06:00
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houchenxmc: 金币+2, ICEPI+1, 谢谢参与 2013-03-25 09:23:13
2007302718: 金币+2 2013-03-25 22:06:00
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以前做过镀DLC的实验，用的是AFM。目的是要耐磨性。 简单说一下，供你参考。 做样品，一半有镀膜，一半保护起来（即没镀） 然后用AFM从一边直线扫到另一边，得出一条直线。(如附图，纯手画  )可以得到直线度、粗糙度、厚度等参数。 然后，进行研磨，再扫描一次AFM，对比两图，观察耐磨性。 (注，基材表面必须足够平整) 像我画的图，1的直线度相对2较好，但粗糙度相对2较差。2的直线度相对1差，但粗糙度相对1较好。 大概就是这个意思。  无标题.jpg |
3楼2013-03-25 08:46:46
4楼2013-03-25 12:19:35
5楼2013-03-25 12:21:12
cs104
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不合适。6楼2013-03-25 14:19:02
mengyonghong
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7楼2013-03-26 06:14:11
20