应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 求助，如何利用RF-PECVD法快速沉积DLC膜
21/1返回列表
查看: 543  |  回复: 1
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

jszengdan

新虫 (初入文坛)

[交流] 求助，如何利用RF-PECVD法快速沉积DLC膜

如题，采用RF-PECVD，希望能够在很短的时间内沉积较厚的DLC膜。5min能沉积到1μm么，请问同行者都是如何做的，我们实验室有乙炔和甲烷，氩气，氮气，氢气等气体。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2013-03-15 17:40:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

aaronlc311

木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
参数差不多的情况下，乙炔的成膜速度比甲烷快。用乙炔就好。
5分钟1μm不易达到，试试苯，分子量越大的碳源，沉积速率越大。
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2013-03-18 20:07:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 jszengdan 的主题更新
21/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭