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jszengdan

新虫 (初入文坛)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 13.3
帖子: 48
在线: 17.5小时
虫号: 1987832

[交流] 求助，如何利用RF-PECVD法快速沉积DLC膜

如题，采用RF-PECVD，希望能够在很短的时间内沉积较厚的DLC膜。5min能沉积到1μm么，请问同行者都是如何做的，我们实验室有乙炔和甲烷，氩气，氮气，氢气等气体。

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1楼 2013-03-15 17:40:48

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aaronlc311

木虫 (小有名气)

应助: 3 (幼儿园)
金币: 1994.8
帖子: 76
在线: 33.3小时
虫号: 1657481

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

参数差不多的情况下，乙炔的成膜速度比甲烷快。用乙炔就好。
5分钟1μm不易达到，试试苯，分子量越大的碳源，沉积速率越大。

赞一下(1人)

2楼2013-03-18 20:07:22

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