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求助,如何利用RF-PECVD法快速沉积DLC膜
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| 如题,采用RF-PECVD,希望能够在很短的时间内沉积较厚的DLC膜。5min能沉积到1μm么,请问同行者都是如何做的,我们实验室有乙炔和甲烷,氩气,氮气,氢气等气体。 |
2楼2013-03-18 20:07:22









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