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jszengdan

新虫 (初入文坛)


[交流] 求助,如何利用RF-PECVD法快速沉积DLC膜

如题,采用RF-PECVD,希望能够在很短的时间内沉积较厚的DLC膜。5min能沉积到1μm么,请问同行者都是如何做的,我们实验室有乙炔和甲烷,氩气,氮气,氢气等气体。
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aaronlc311

木虫 (小有名气)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
参数差不多的情况下,乙炔的成膜速度比甲烷快。用乙炔就好。
5分钟1μm不易达到,试试苯,分子量越大的碳源,沉积速率越大。
2楼2013-03-18 20:07:22
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