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求助，如何利用RF-PECVD法快速沉积DLC膜
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| 如题，采用RF-PECVD，希望能够在很短的时间内沉积较厚的DLC膜。5min能沉积到1μm么，请问同行者都是如何做的，我们实验室有乙炔和甲烷，氩气，氮气，氢气等气体。 |
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2楼2013-03-18 20:07:22