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jszengdan

新虫 (初入文坛)

[交流] 求助，如何利用RF-PECVD法快速沉积DLC膜

如题，采用RF-PECVD，希望能够在很短的时间内沉积较厚的DLC膜。5min能沉积到1μm么，请问同行者都是如何做的，我们实验室有乙炔和甲烷，氩气，氮气，氢气等气体。
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1楼 2013-03-15 17:40:48
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aaronlc311

木虫 (小有名气)
★
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参数差不多的情况下，乙炔的成膜速度比甲烷快。用乙炔就好。
5分钟1μm不易达到，试试苯，分子量越大的碳源，沉积速率越大。
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2楼2013-03-18 20:07:22
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