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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 怎么用SRIM 2006画下面这张图
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jzsunjia

金虫 (正式写手)

[求助] 怎么用SRIM 2006画下面这张图

图示说明：
用相同能量，但不同剂量的入射离子注入至靶材中。
SRIM怎么设置参数啊，设置哪个参数啊？？？？？
用SRIM 2006 怎么画啊？用和其他软件连用吗（比如作图软件）？
求高手指教！！！

Different flunence with same ions energy .jpg
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1楼 2013-03-15 00:42:51
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yuxiaoinbuaa

至尊木虫 (职业作家)
jzsunjia: 回帖置顶 2013-09-27 23:02:00
引用回帖:
8楼: Originally posted by jzsunjia at 2013-03-16 19:12:23
你说的这张图，我在SRIM中输出过，但是和文献对比发现不对，我帖子中所发的那张图是一个老外的文献中截取的，他画的就是用这个单位，这篇文献标题为Ion-beam synthesis of 3C-SiC surface layers on silicon（2011 ...

没错，是这样的，我对b中的情况做了一下计算。TRIM的图像是这样的。最高值是在7E4，乘上表面计量，6E16，结果可不就是4E21左右么。
关于Hopf的paper，我觉得可能是有图像含义的区别在里边。曲线上的数字指的是注入计量，曲线的含义是C在这个深度所占据的原子的比例。但是我不知道他是怎么直接得到这个比例的。因为这个很奇怪，如果能量不变的话，射程的分布趋势是不变的，那么浓度最大值的深度位置应该是近似的。但是在他的paper里，明显是剂量大的时候离子射程的范围就大，这个很奇怪。

1.png
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Yourconfidencespeaksforyoursoundjudgement.
9楼2013-03-17 02:32:14
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jzsunjia

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by beijingice at 2013-03-15 02:44:07
用origin画

在SRIM中怎么设置不同的剂量啊？1x1015ions/cm2,5x1017ions/cm2……
用origin得需要数据啊，我是不会用SRIM设置剂量进行数据输出，求指教
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3楼2013-03-15 13:36:54
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yuxiaoinbuaa

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
jzsunjia: 金币+8, ★★★很有帮助, 前辈说的我大部分能明白，我再试试哦 2013-03-16 11:14:29
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2013-03-17 22:08:01
SRIM中只需要设置入射能量（必要的话可以设置入射角度），靶的材料。然后已经求出必要的数据来了，1E15，注意后面的单位，ions/cm2，我不知道找的是谁的模拟结果，但是我觉得，这个结果应该是，错误的。因为从单位上来看，这个是很难理解的。因为横坐标是一个单位，但是纵坐标是ions/cm2。在一定深度的表面剂量，这是很奇怪的，应该是ions/cm3比较正常。如果我没记错，SRIM直接算出来的结果的单位应该是cm2/cm3，这样的话，乘上一个表面剂量，单位就变成了ions/cm3，即空间中一定深度的离子浓度。
SRIM计算的结果都在SRIM Output文件夹中，建议把里边的文件倒出来用Origin作图。这就意味着，要在Origin中做乘上表面剂量的运算。可以下载新的SRIM2013版，里边有简体中文的说明，其中一个掺杂问题的说明就有解决这个问题的办法。
祝好运。
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Yourconfidencespeaksforyoursoundjudgement.
4楼2013-03-16 00:58:26
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jzsunjia

金虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yuxiaoinbuaa at 2013-03-16 00:58:26
SRIM中只需要设置入射能量（必要的话可以设置入射角度），靶的材料。然后已经求出必要的数据来了，1E15，注意后面的单位，ions/cm2，我不知道找的是谁的模拟结果，但是我觉得，这个结果应该是，错误的。因为从单位上 ...

您能给我一份SRIM2013的简体中文说明吗？jiaozuosunjia@163.com
我的软件是老师给的，在网上好像找不到SRIM2013的下载啊
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5楼2013-03-16 11:27:32
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