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yuleleok

银虫 (小有名气)

[求助] 硅胶用SEM测试的条件

观察硅胶型貌,用离子溅射仪镀上100s铂,用SEM观察,只能在低倍下LEI观察,用高倍SEI观察放电严重,得不到图片。
用什么办法能得到高倍图片,可以放大到20万倍呢?有人说包埋,可我只看表面 不需要包埋,是镀铂不够厚吗?

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winner0118

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
Meteorの泪: 金币+1, 感谢应助 2013-03-15 23:58:04
导电性太差,用铜导电胶粘一下样品喷金试一下。
相互学习
2楼2013-03-15 22:24:48
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yuleleok

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by winner0118 at 2013-03-15 22:24:48
导电性太差,用铜导电胶粘一下样品喷金试一下。

我也是导电胶粘在铜柱上喷金的,可是只能在低倍下测试,高倍就不行了
3楼2013-03-17 21:59:37
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