应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 钨膜和铜膜的结合力太弱
51/1返回列表
查看: 743  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

junyjin

银虫 (小有名气)

[求助] 钨膜和铜膜的结合力太弱

用直流磁控溅射在基片上先镀一层钨膜，在钨膜上再镀一层铜膜，但是钨膜和铜膜的结合力太弱，铜膜会大面积褶皱并与钨膜分离，请问虫友怎样才能增加钨膜与铜膜的结合力。谢谢大家了.
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-03-07 21:28:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

325114100

新虫 (小有名气)
你的钨与基底的结合力好吗？
赞一下 回复此楼
4楼2015-09-19 16:06:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答

dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2013-03-08 17:40:19
junyjin: 金币+5, ★★★很有帮助, 这个思路不错，可以试一下。 2013-03-09 00:48:45
junyjin: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-03-15 17:58:28
W thermal conductivity: 173 W·m−1·K−1,  Cu is 400.
还是有些大的差别，建议你镀Cu之前先混镀 一下，有个过渡层。
赞一下 回复此楼
2楼2013-03-08 14:04:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangbo1966

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
junyjin: 金币+10, ★★★很有帮助 2013-03-15 17:58:48
可以试一试带水冷样品台的设备，在镀膜过程中保持基片冷却，镀膜后可根据需要对样品在适当温度保温，提高铜的结晶质量。
如果没有水冷样品台，可以考虑用低功率，间歇式镀膜，然后原位150℃或100度退火。最佳退火温度需简单摸索一下。
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2013-03-12 06:01:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

FLYFWY

木虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by wangbo1966 at 2013-03-12 06:01:58
可以试一试带水冷样品台的设备，在镀膜过程中保持基片冷却，镀膜后可根据需要对样品在适当温度保温，提高铜的结晶质量。
如果没有水冷样品台，可以考虑用低功率，间歇式镀膜，然后原位150℃或100度退火。最佳退火温 ...

我也用过水冷样品台，在C上面镀Cu，镀一会儿就起皱，要把水温调成80多度才能镀上去。这和预想的基片温度越低越不容易起皱似乎矛盾，不知你遇到过这种问题吗？
赞一下 回复此楼
5楼2015-10-30 16:42:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭