应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 钨膜和铜膜的结合力太弱
51/1返回列表
查看: 780  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

junyjin

银虫 (小有名气)

[求助] 钨膜和铜膜的结合力太弱

用直流磁控溅射在基片上先镀一层钨膜，在钨膜上再镀一层铜膜，但是钨膜和铜膜的结合力太弱，铜膜会大面积褶皱并与钨膜分离，请问虫友怎样才能增加钨膜与铜膜的结合力。谢谢大家了.
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-03-07 21:28:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2013-03-08 17:40:19
junyjin: 金币+5, ★★★很有帮助, 这个思路不错，可以试一下。 2013-03-09 00:48:45
junyjin: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-03-15 17:58:28
W thermal conductivity: 173 W·m−1·K−1,  Cu is 400.
还是有些大的差别，建议你镀Cu之前先混镀 一下，有个过渡层。
赞一下 回复此楼
2楼2013-03-08 14:04:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangbo1966

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
junyjin: 金币+10, ★★★很有帮助 2013-03-15 17:58:48
可以试一试带水冷样品台的设备，在镀膜过程中保持基片冷却，镀膜后可根据需要对样品在适当温度保温，提高铜的结晶质量。
如果没有水冷样品台，可以考虑用低功率，间歇式镀膜，然后原位150℃或100度退火。最佳退火温度需简单摸索一下。
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2013-03-12 06:01:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

325114100

新虫 (小有名气)
你的钨与基底的结合力好吗？
赞一下 回复此楼
4楼2015-09-19 16:06:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

FLYFWY

木虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by wangbo1966 at 2013-03-12 06:01:58
可以试一试带水冷样品台的设备，在镀膜过程中保持基片冷却，镀膜后可根据需要对样品在适当温度保温，提高铜的结晶质量。
如果没有水冷样品台，可以考虑用低功率，间歇式镀膜，然后原位150℃或100度退火。最佳退火温 ...

我也用过水冷样品台，在C上面镀Cu，镀一会儿就起皱，要把水温调成80多度才能镀上去。这和预想的基片温度越低越不容易起皱似乎矛盾，不知你遇到过这种问题吗？
赞一下 回复此楼
5楼2015-10-30 16:42:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 junyjin 的主题更新
51/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 085700资源与环境308求调剂 +4 墨墨漠 2026-03-18 4/200 2026-03-19 21:46 by wang_dand
[考研] 一志愿南京理工大学085701资源与环境302分求调剂 +3 葵梓卫队 2026-03-18 5/250 2026-03-19 19:35 by 给你你注意休息
[考研] 一志愿中国海洋大学，生物学，301分，求调剂 +5 1孙悟空 2026-03-17 5/250 2026-03-19 18:03 by zcl123
[考研] 一志愿天津大学化学工艺专业（081702）315分求调剂 +11 yangfz 2026-03-17 11/550 2026-03-19 15:06 by houyaoxu
[考研] 304求调剂 +3 曼殊2266 2026-03-18 3/150 2026-03-19 14:42 by peike
[考研] 0703化学调剂 +5 pupcoco 2026-03-17 8/400 2026-03-19 13:58 by houyaoxu
[考研] 085600材料与化工求调剂 +6 绪幸与子 2026-03-17 6/300 2026-03-19 13:27 by houyaoxu
[考研] 281求调剂（0805） +9 烟汐忆海 2026-03-16 19/950 2026-03-19 11:42 by laoshidan
[考研] 274求调剂 +6 S.H1 2026-03-18 6/300 2026-03-19 09:34 by 花店相见
[考研] 328求调剂，英语六级551，有科研经历 +3 生物工程调剂 2026-03-17 7/350 2026-03-18 20:41 by Wangjingyue
[考研] 材料，纺织，生物（0856、0710），化学招生啦 +3 Eember. 2026-03-17 9/450 2026-03-18 10:28 by Eember.
[考研] 278求调剂 +5 烟火先于春 2026-03-17 5/250 2026-03-18 08:43 by 星空星月
[考研] 293求调剂 +11 zjl的号 2026-03-16 16/800 2026-03-18 08:10 by zhukairuo
[考博] 26博士申请 +3 1042136743 2026-03-17 3/150 2026-03-17 23:30 by 轻松不少随
[基金申请] 被我言中：新模板不强调格式了，假专家开始管格式了 +4 beefly 2026-03-14 4/200 2026-03-17 22:04 by 黄鸟于飞Chao
[考研] 304求调剂 +4 ahbd 2026-03-14 4/200 2026-03-16 16:48 by 我的船我的海
[考研] 070300化学学硕求调剂 +6 太想进步了0608 2026-03-16 6/300 2026-03-16 16:13 by kykm678
[考研] 中科大材料专硕319求调剂 +3 孟鑫材料 2026-03-13 3/150 2026-03-14 18:10 by houyaoxu
[考研] 297一志愿上交085600求调剂 +5 指尖八千里 2026-03-14 5/250 2026-03-14 17:26 by a不易
[考研] 复试调剂 +3 呼呼？~+123456 2026-03-14 3/150 2026-03-14 16:53 by WTUChen
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭