应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 钨膜和铜膜的结合力太弱
汕头大学海洋科学接受调剂
51/1返回列表
查看: 815  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

junyjin

银虫 (小有名气)

[求助] 钨膜和铜膜的结合力太弱

用直流磁控溅射在基片上先镀一层钨膜，在钨膜上再镀一层铜膜，但是钨膜和铜膜的结合力太弱，铜膜会大面积褶皱并与钨膜分离，请问虫友怎样才能增加钨膜与铜膜的结合力。谢谢大家了.
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-03-07 21:28:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2013-03-08 17:40:19
junyjin: 金币+5, ★★★很有帮助, 这个思路不错，可以试一下。 2013-03-09 00:48:45
junyjin: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-03-15 17:58:28
W thermal conductivity: 173 W·m−1·K−1,  Cu is 400.
还是有些大的差别，建议你镀Cu之前先混镀 一下，有个过渡层。
赞一下 回复此楼
2楼2013-03-08 14:04:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangbo1966

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
junyjin: 金币+10, ★★★很有帮助 2013-03-15 17:58:48
可以试一试带水冷样品台的设备，在镀膜过程中保持基片冷却，镀膜后可根据需要对样品在适当温度保温，提高铜的结晶质量。
如果没有水冷样品台，可以考虑用低功率，间歇式镀膜，然后原位150℃或100度退火。最佳退火温度需简单摸索一下。
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2013-03-12 06:01:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

325114100

新虫 (小有名气)
你的钨与基底的结合力好吗？
赞一下 回复此楼
4楼2015-09-19 16:06:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

FLYFWY

木虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by wangbo1966 at 2013-03-12 06:01:58
可以试一试带水冷样品台的设备，在镀膜过程中保持基片冷却，镀膜后可根据需要对样品在适当温度保温，提高铜的结晶质量。
如果没有水冷样品台，可以考虑用低功率，间歇式镀膜，然后原位150℃或100度退火。最佳退火温 ...

我也用过水冷样品台，在C上面镀Cu，镀一会儿就起皱，要把水温调成80多度才能镀上去。这和预想的基片温度越低越不容易起皱似乎矛盾，不知你遇到过这种问题吗？
赞一下 回复此楼
5楼2015-10-30 16:42:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 junyjin 的主题更新
51/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 291 求调剂 +34 化工2026届毕业� 2026-04-09 34/1700 2026-04-14 06:08 by 西北望—风沙
[考研] 求助调剂，跨调 +15 X十甫寸Y 2026-04-11 16/800 2026-04-14 05:44 by 西北望—风沙
[考研] 本科西工大 324求调剂 +5 wysyjs25 2026-04-10 5/250 2026-04-13 23:08 by pies112
[考研] 284求调剂 +16 让我上岸吧阿西 2026-04-09 16/800 2026-04-13 22:18 by pies112
[考研] 调剂求收留 +31 果然有我 2026-04-10 32/1600 2026-04-13 21:35 by gretl
[考研] 复试调剂 +17 积极向上； 2026-04-10 19/950 2026-04-13 19:53 by 闲人终南山
[考研] 267求调剂 +8 再忙也要吃饭啊 2026-04-09 8/400 2026-04-11 21:42 by cfdbai
[考研] 电子信息279求调剂，有书读就行 +8 wwwooden 2026-04-08 11/550 2026-04-11 20:22 by cq2548
[考研] 296求调剂 +6 汪！？！ 2026-04-09 6/300 2026-04-11 11:25 by zhq0425
[考研] 085600材料与化工329分求调剂 +16 叶zilin 2026-04-10 16/800 2026-04-11 11:04 by may_新宇
[考研] 求调剂 +6 archer.. 2026-04-09 8/400 2026-04-11 10:55 by zhq0425
[考研] 297求调剂 +9 Kwgyz 2026-04-09 9/450 2026-04-11 10:09 by zhq0425
[考研] 广东省 085601 329分求调剂 +14 Eddieddd 2026-04-10 14/700 2026-04-11 09:58 by bljnqdcc
[考研] 一志愿北理工298英一数二已上岸，感谢各位老师 +14 Reframe 2026-04-10 16/800 2026-04-10 23:07 by caotw2020
[考研] 计算机类求调剂，22408-274分 +7 上岸de小虫 2026-04-09 8/400 2026-04-10 19:56 by fxue1114
[考研] 265求调剂 +12 风说她早忘了 2026-04-10 13/650 2026-04-10 18:56 by chemisry
[考研] 考研调剂-材料类-284 +28 想换手机不想解� 2026-04-08 28/1400 2026-04-09 20:08 by 倒数321?
[考研] 083200 初试305分 求调剂 暂不考虑跨专业 +15 Claireyyyy 2026-04-09 15/750 2026-04-09 16:11 by zhuimr
[考研] 材料工程322 +18 哈哈哈吼吼吼哈 2026-04-07 19/950 2026-04-09 10:44 by cymywx
[考研] 招收有机化学、化工，药学，食品灯专业学生 +3 yrfhjgdj 2026-04-08 3/150 2026-04-09 10:15 by QYQX_123
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭