应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 钨膜和铜膜的结合力太弱
51/1返回列表
查看: 918  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

junyjin

银虫 (小有名气)

[求助] 钨膜和铜膜的结合力太弱

用直流磁控溅射在基片上先镀一层钨膜，在钨膜上再镀一层铜膜，但是钨膜和铜膜的结合力太弱，铜膜会大面积褶皱并与钨膜分离，请问虫友怎样才能增加钨膜与铜膜的结合力。谢谢大家了.
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-03-07 21:28:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2013-03-08 17:40:19
junyjin: 金币+5, ★★★很有帮助, 这个思路不错，可以试一下。 2013-03-09 00:48:45
junyjin: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-03-15 17:58:28
W thermal conductivity: 173 W·m−1·K−1,  Cu is 400.
还是有些大的差别，建议你镀Cu之前先混镀 一下，有个过渡层。
赞一下 回复此楼
2楼2013-03-08 14:04:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangbo1966

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
junyjin: 金币+10, ★★★很有帮助 2013-03-15 17:58:48
可以试一试带水冷样品台的设备，在镀膜过程中保持基片冷却，镀膜后可根据需要对样品在适当温度保温，提高铜的结晶质量。
如果没有水冷样品台，可以考虑用低功率，间歇式镀膜，然后原位150℃或100度退火。最佳退火温度需简单摸索一下。
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2013-03-12 06:01:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

325114100

新虫 (小有名气)
你的钨与基底的结合力好吗？
赞一下 回复此楼
4楼2015-09-19 16:06:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

FLYFWY

木虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by wangbo1966 at 2013-03-12 06:01:58
可以试一试带水冷样品台的设备，在镀膜过程中保持基片冷却，镀膜后可根据需要对样品在适当温度保温，提高铜的结晶质量。
如果没有水冷样品台，可以考虑用低功率，间歇式镀膜，然后原位150℃或100度退火。最佳退火温 ...

我也用过水冷样品台，在C上面镀Cu，镀一会儿就起皱，要把水温调成80多度才能镀上去。这和预想的基片温度越低越不容易起皱似乎矛盾，不知你遇到过这种问题吗？
赞一下 回复此楼
5楼2015-10-30 16:42:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 junyjin 的主题更新
51/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 为什么网上很多人说本周 12号出结果 +6 瞬息宇宙 2026-08-10 6/300 2026-08-11 13:19 by JACS/Angew
[基金申请] 听说今天filecode变了 +26 布布和一二 2026-08-06 49/2450 2026-08-11 13:18 by WH3796
[基金申请] 帮忙看看fileCode +6 wwncly 2026-08-10 12/600 2026-08-11 13:01 by wwncly
[基金申请] 奇怪，两个人的filecode固定段从头到尾一模一样 +5 布布和一二 2026-08-10 6/300 2026-08-11 10:15 by 医学老男孩
[基金申请] filecode +9 documentary 2026-08-10 9/450 2026-08-11 10:08 by wk7465
[基金申请] 我的国基提前知道中了，可是同事的操作让我实在接受不了，怎么会有这样的人 +8 家与远方 2026-08-10 13/650 2026-08-11 09:49 by 家与远方
[基金申请] 综述论文作为代表作会不会影响评审专家的印象分？ +10 yufeiwaner 2026-08-09 11/550 2026-08-10 18:47 by yufeiwaner
[基金申请] 关于Filecode分析方法 +3 majunge000 2026-08-10 3/150 2026-08-10 15:46 by lch2012
[基金申请] 国自然结果 +4 Vierhys 2026-08-10 8/400 2026-08-10 15:06 by Vierhys
[基金申请] 据悉今年马上要出结果了 +7 瞬息宇宙 2026-08-10 8/400 2026-08-10 12:42 by Vivilian
[基金申请] 2026国自然放榜时间 +9 布布和一二 2026-08-08 9/450 2026-08-10 11:22 by xxxx2020
[基金申请] 关于filecode，很负责任的告诉大家 +6 爱看书的可乐 2026-08-08 7/350 2026-08-08 22:13 by a_niu
[基金申请] 关于豆爷回答的JTJC与%2F数量 +5 yang182083 2026-08-06 7/350 2026-08-08 18:29 by zhanghaozhu
[基金申请] 国基金的申报应该改成非等额制，评价高的钱多评价低的钱少，但是增加资助率 +7 a089 2026-08-07 7/350 2026-08-08 18:05 by gltch
[基金申请] 化学口download_prp&fileCode的固定段好像这几天一直没变，有变的大神么？ +3 Tide man 2026-08-07 4/200 2026-08-07 22:39 by Tide man
[基金申请] filecode变化情况 +6 布布和一二 2026-08-07 22/1100 2026-08-07 14:45 by 且听虎啸
[基金申请] 大家散了吧，后缀研究没有意义，别浪费时间了，过好目前的每一天，不要焦虑 +5 Tide man 2026-08-06 7/350 2026-08-07 13:11 by 医学老男孩
[基金申请] filecode +14 等待解的谜 2026-08-06 19/950 2026-08-07 12:20 by wlwhappy
[基金申请] 求各位大神看下 100+6 hpkpkpkp 2026-08-05 33/1650 2026-08-06 14:49 by zhiyanjiang
[基金申请] 影响面上的因素 +8 布布和一二 2026-08-05 11/550 2026-08-06 10:41 by 宝贝虫子
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭