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NaOH会对PMMA有影响吗？
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| 最近进行电子束刻蚀。使用的是4um的PMMA，基材为Si片。由于PMMA导电性不佳，在其上热蒸发了一层薄Al（10nm）左右。进行完电子束刻蚀后，首先需要用碱液去除PMMA上的Al。我采用的是1%的NaOH溶液，但是PMMA会从Si片上剥离？这是什么情况？ |
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金属材料论文润色/翻译怎么收费?
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4楼2017-05-10 17:21:37
ningmenguge
至尊木虫 (著名写手)
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2楼2013-03-07 12:39:42
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3楼2013-03-07 17:23:11