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doublewei

银虫 (小有名气)

[求助] NaOH会对PMMA有影响吗?

最近进行电子束刻蚀。使用的是4um的PMMA,基材为Si片。由于PMMA导电性不佳,在其上热蒸发了一层薄Al(10nm)左右。进行完电子束刻蚀后,首先需要用碱液去除PMMA上的Al。我采用的是1%的NaOH溶液,但是PMMA会从Si片上剥离?这是什么情况?
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siten

铜虫 (初入文坛)

NaOH溶液不会对PMMA产生影响,我们这边有人这样做过
4楼2017-05-10 17:21:37
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ningmenguge

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
我最近看的文献有一个就是用氢氧化钠先洗一下,再旋涂上PMMA,如果要洗掉PMMA的话就用丙酮,然后,热处理,不知道这样有没有人试过。
2楼2013-03-07 12:39:42
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
一般的光刻胶都是怕碱的,一般强一点的碱液都很容易把胶泡掉,浓度高的话,瞬间就掉了。像PMMA这种也是一样的。
建议你用磷酸去去除PMMA上的铝。
3楼2013-03-07 17:23:11
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