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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » NaOH会对PMMA有影响吗？
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doublewei

银虫 (小有名气)

[求助] NaOH会对PMMA有影响吗？

最近进行电子束刻蚀。使用的是4um的PMMA，基材为Si片。由于PMMA导电性不佳，在其上热蒸发了一层薄Al（10nm）左右。进行完电子束刻蚀后，首先需要用碱液去除PMMA上的Al。我采用的是1%的NaOH溶液，但是PMMA会从Si片上剥离？这是什么情况？
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1楼 2013-03-07 11:51:52
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ningmenguge

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
我最近看的文献有一个就是用氢氧化钠先洗一下，再旋涂上PMMA,如果要洗掉PMMA的话就用丙酮，然后，热处理，不知道这样有没有人试过。
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2楼2013-03-07 12:39:42
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
一般的光刻胶都是怕碱的，一般强一点的碱液都很容易把胶泡掉，浓度高的话，瞬间就掉了。像PMMA这种也是一样的。
建议你用磷酸去去除PMMA上的铝。
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3楼2013-03-07 17:23:11
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siten

铜虫 (初入文坛)
NaOH溶液不会对PMMA产生影响，我们这边有人这样做过
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4楼2017-05-10 17:21:37
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