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NaOH会对PMMA有影响吗？
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| 最近进行电子束刻蚀。使用的是4um的PMMA，基材为Si片。由于PMMA导电性不佳，在其上热蒸发了一层薄Al（10nm）左右。进行完电子束刻蚀后，首先需要用碱液去除PMMA上的Al。我采用的是1%的NaOH溶液，但是PMMA会从Si片上剥离？这是什么情况？ |
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ningmenguge
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