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wuchunxiaokk

新虫 (小有名气)

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[交流] 氟硅烷怎样去除

我在硅片表面修饰了氟硅烷，现在想除去氟硅烷有什么好办法吗？十七氟癸基三甲氧基氟硅烷的挥发温度和熔沸点是多少？可以用烧灼的方法吗？前提是我的硅片表面是带有微米级硅柱的表面，要保证表面不破坏请各位大侠多多指点

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1楼 2013-03-05 12:01:16

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oyh1988

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★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
wuchunxiaokk: 金币+3 2013-06-03 14:32:35

在保证硅片表面不被破坏的温度下，把硅片放马弗炉中煅烧就可以除掉CF键了，估计350℃就可以了~

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