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1楼 2013-03-01 21:09:09

已阅关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

wangyong832

银虫 (著名写手)

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注册: 2008-04-26
专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

【答案】应助回帖

引用回帖:

8楼: Originally posted by HHBWF at 2013-03-03 10:38:32
能再请教一下么？你说如果是两个金属靶共同溅射的话就复杂了请问两个金属靶溅射与一金属一陶瓷有什么不一样的么？如果要是用量个金属靶的话我可以一个用射频一个用直流。不也是通过控制两个靶的溅射功率来实现 ...

都是金属靶材的话是完全的反应溅射
你用一个陶瓷靶材，化学计量基本形成，
所以都是金属靶材的话更难长