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蓝风叙木虫 (著名写手)
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做等离子的虫友 请进..........微波等离子出了点问题，求解
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上周末做实验，用的微波等离子 条件如下： 压力：10Pa，气体：N2/O2=8:2 气体流量200sccm 能量：700w 样品台距离 微波顶15cm 调整E-H tunner过程中，从监视窗看到腔体里面似乎出现了闪光，实验后发现放在腔体里面的金属网上出现了如图所示的 斑点，似乎出现了电弧........求解，有人遇到过这种情况吗？  123.jpg  设备图.jpg |
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 金属基自润滑 |
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