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蓝风叙

兑换贵宾

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！

[求助] 做等离子的虫友 请进..........微波等离子出了点问题，求解

上周末做实验，用的微波等离子
条件如下：
压力：10Pa，气体：N2/O2=8:2  气体流量200sccm   能量：700w
样品台距离 微波顶15cm
调整E-H tunner过程中，从监视窗看到腔体里面似乎出现了闪光，实验后发现放在腔体里面的金属网上出现了如图所示的 斑点，似乎出现了电弧........求解，有人遇到过这种情况吗？

123.jpg



设备图.jpg
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认真做人踏实做事静心做研究
1楼 2013-02-19 13:29:20
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leongoall

无虫

P-M-I之初生牛犊
因为我自己只用过微波ECR装置，对楼主这个等离子体发生看不太懂，不知道微波能量是怎么耦合给电荷的！

对于闪光，是否有可能金属网没有清洁导致等离子体形成快速放电通道，也就是所谓的电弧，因为电弧很快将附着在金属网上的颗粒分解，之后就不会再起弧了！另外，不了解体积波在这里指的是什么，楼主可以顺便给俺解释一下！
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趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
6楼2013-02-28 06:06:02
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leongoall

禁虫

P-M-I之初生牛犊
楼主把问题再进一步描述清楚一点：
1. 你说金属网上出现斑点，但你照片里面并不是金属网啊，另外，能否指出腔体里面的金属网对应你装置图的哪个位置？！

2. 是否加了偏压？
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趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
4楼2013-02-27 03:58:57
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蓝风叙

兑换贵宾

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
引用回帖:
4楼: Originally posted by leongoall at 2013-02-27 03:58:57
楼主把问题再进一步描述清楚一点：
1. 你说金属网上出现斑点，但你照片里面并不是金属网啊，另外，能否指出腔体里面的金属网对应你装置图的哪个位置？！

2. 是否加了偏压？

非常感谢你的回复
照片是金属网  只是网孔比较细密

加偏压了 但是 腔体出现闪光的时候  偏压还没有加

照片里的金属网（30cm*20cm）在样品台上放着  上面放以玻璃培养皿盖子 盖子上放样品
然后 样品上又放了一个很小的 金属丝网 （4cm*5cm）

耦合不太好 反射功率大的时候  玻璃皿盖里面很亮  应该是出现了体积波........
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认真做人踏实做事静心做研究
5楼2013-02-27 08:34:12
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蓝风叙

兑换贵宾

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
★ ★ ★ ★ ★
leongoall: 金币+5, 鼓励认真回帖！ 2013-03-02 02:54:25
引用回帖:
6楼: Originally posted by leongoall at 2013-02-28 06:06:02
因为我自己只用过微波ECR装置，对楼主这个等离子体发生看不太懂，不知道微波能量是怎么耦合给电荷的！

对于闪光，是否有可能金属网没有清洁导致等离子体形成快速放电通道，也就是所谓的电弧，因为电弧很快将附着 ...

surface-wave plasma
surface-wave plasma and volume-wave plasma.

volume-wave plasma.
surface-wave plasma and volume-wave plasma.

表面波等离子.jpg



体积波等离子.jpg
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认真做人踏实做事静心做研究
7楼2013-03-01 18:11:17
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