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sayhalo

木虫 (小有名气)

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专业: 金属基复合材料

[求助] 求铜丝，金丝EBSD制备方法，有经验的请赐教

我现在制备键合金丝，铜丝，直径大概10-20微米，
我先镶嵌，然后机械抛光到40nm的silica 抛光剂，但是EBSD效果不好，没有看到kichuchi pattern。不知道是不是金丝，铜丝直径太小，在EBSD扫描时候，样品都变样了，不知道是不是electron把细小的样品给烧坏了，根本就没有kikuchi patten 出来。

我做了一个星期都没做好一个样品，晚上都做噩梦啊。。。求助，求助。。。

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1楼 2013-02-10 18:53:33

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sayhalo

木虫 (小有名气)

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引用回帖:

2楼: Originally posted by wcjhit at 2013-02-10 21:14:03
采用FIB制样就可以实现，你可以试一下！

我们没有FIB，只有ion milling，我用ion milling 切试样，试样很平很好，但是放在FESEM下面，用EBSD，发现整个样品image都歪歪的，没有pattern出来，不知道是不是样品太小(20微米的铜丝)了，SEM 的electron 把样品烧坏了呢？
求助 20微米的铜丝样品EBSD的参数： WD，KV，aperature，等等
感激不尽