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sayhalo

木虫 (小有名气)

[求助] 求铜丝,金丝EBSD制备方法,有经验的请赐教

我现在制备键合金丝,铜丝,直径大概10-20微米,
我先镶嵌,然后机械抛光到40nm的silica 抛光剂,但是EBSD效果不好,没有看到kichuchi pattern。不知道是不是金丝,铜丝直径太小,在EBSD扫描时候,样品都变样了,不知道是不是electron把细小的样品给烧坏了,根本就没有kikuchi patten 出来。

我做了一个星期都没做好一个样品,晚上都做噩梦啊。。。求助,求助。。。
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wcjhit

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


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sayhalo: 金币+1, 有帮助 2013-02-11 10:44:20
采用FIB制样就可以实现,你可以试一下!
2楼2013-02-10 21:14:03
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sayhalo

木虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by wcjhit at 2013-02-10 21:14:03
采用FIB制样就可以实现,你可以试一下!

我们没有FIB,只有ion milling,我用ion milling 切试样,试样很平很好,但是放在FESEM下面,用EBSD,发现整个样品image都歪歪的,没有pattern出来,不知道是不是样品太小(20微米的铜丝)了,SEM 的electron 把样品烧坏了呢?
求助 20微米的铜丝样品EBSD的参数: WD,KV,aperature,等等
感激不尽
3楼2013-02-11 10:42:29
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1985testing

禁虫 (正式写手)

感谢参与,应助指数 +1
本帖内容被屏蔽

4楼2013-02-11 11:24:07
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digghost

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
20微米的很大呀,不因该是这个问题。你镶嵌在什么基体内,有可能是基体内吸收了抛光液膨胀,然后放真空下面,水分被抽走造成基体收缩,所以你的样品变形了,先用光镜看一看,
呵呵了
5楼2013-02-11 18:27:52
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sayhalo

木虫 (小有名气)

问题已经解决,方法跟大家分享:铜丝epoxy mount, ion milling, 然后马上拿去做EBSD,不能放太久,会氧化的。
6楼2013-03-06 10:00:29
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sayhalo

木虫 (小有名气)

EBSD参数也很重要:working distance 12mm, 10kV, apeture size 30um.
7楼2013-03-06 10:01:20
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