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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 专题 » 求铜丝，金丝EBSD制备方法，有经验的请赐教
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sayhalo

木虫 (小有名气)

[求助] 求铜丝，金丝EBSD制备方法，有经验的请赐教

我现在制备键合金丝，铜丝，直径大概10-20微米，
我先镶嵌，然后机械抛光到40nm的silica 抛光剂，但是EBSD效果不好，没有看到kichuchi pattern。不知道是不是金丝，铜丝直径太小，在EBSD扫描时候，样品都变样了，不知道是不是electron把细小的样品给烧坏了，根本就没有kikuchi patten 出来。

我做了一个星期都没做好一个样品，晚上都做噩梦啊。。。求助，求助。。。
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1楼 2013-02-10 18:53:33
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wcjhit

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
sayhalo: 金币+1, ★有帮助 2013-02-11 10:44:20
采用FIB制样就可以实现，你可以试一下！
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2楼2013-02-10 21:14:03
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sayhalo

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wcjhit at 2013-02-10 21:14:03
采用FIB制样就可以实现，你可以试一下！

我们没有FIB，只有ion milling，我用ion milling 切试样，试样很平很好，但是放在FESEM下面，用EBSD，发现整个样品image都歪歪的，没有pattern出来，不知道是不是样品太小(20微米的铜丝)了，SEM 的electron 把样品烧坏了呢？
求助 20微米的铜丝样品EBSD的参数： WD，KV，aperature，等等
感激不尽
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3楼2013-02-11 10:42:29
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1985testing

禁虫 (正式写手)
感谢参与，应助指数 +1
本帖内容被屏蔽
4楼2013-02-11 11:24:07
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digghost

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
20微米的很大呀，不因该是这个问题。你镶嵌在什么基体内，有可能是基体内吸收了抛光液膨胀，然后放真空下面，水分被抽走造成基体收缩，所以你的样品变形了，先用光镜看一看，
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呵呵了
5楼2013-02-11 18:27:52
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sayhalo

木虫 (小有名气)
问题已经解决，方法跟大家分享：铜丝epoxy mount, ion milling, 然后马上拿去做EBSD，不能放太久，会氧化的。
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6楼2013-03-06 10:00:29
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sayhalo

木虫 (小有名气)
EBSD参数也很重要：working distance 12mm, 10kV, apeture size 30um.
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7楼2013-03-06 10:01:20
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