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IBE刻蚀孔结构不均匀问题
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我在对105nm的铝进行IBE刻蚀的时候，出现了结构刻蚀不均匀的情况（结构中间处刻透，但周围没刻透），请问这是什么原因？ 结构为：400nm宽，1600nm长的十字孔结构。 |
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 薄膜材料的表征 | 薄膜材料和器件制备 |
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9楼2013-01-28 00:20:05
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