应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » IBE刻蚀孔结构不均匀问题
51/1返回列表
查看: 2452  |  回复: 10
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

z416203567

铜虫 (初入文坛)

[求助] IBE刻蚀孔结构不均匀问题

我在对105nm的铝进行IBE刻蚀的时候，出现了结构刻蚀不均匀的情况（结构中间处刻透，但周围没刻透），请问这是什么原因？
结构为：400nm宽，1600nm长的十字孔结构。
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜材料的表征 薄膜材料和器件制备

» 猜你喜欢
1楼 2013-01-26 23:24:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

z416203567

铜虫 (初入文坛)
来人啊，真心求救.PS：光刻电镜看没，没问题
赞一下 回复此楼
6楼2013-01-27 22:46:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 11 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
显影没显透？没有做discum？光刻产生了footing？
IBE一般不会出现不均匀的现象，多数是光刻出了问题。最好还是详细描述一下光刻的条件，并且拍一个带胶的电镜照片。
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2013-01-27 02:41:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

z416203567

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-01-27 02:41:18
显影没显透？没有做discum？光刻产生了footing？
IBE一般不会出现不均匀的现象，多数是光刻出了问题。最好还是详细描述一下光刻的条件，并且拍一个带胶的电镜照片。

使用的电子束曝光机是：JBX6300FS; 100KeV; 200pa; 5TH;CD26,  50℃热板显影5分钟，采用的变剂量光刻200，250,300...600uC/cm2制作9组，光刻胶是zep520
刻蚀的时候不会出现中间的金属离子向两边堆积产生没刻透的情况吗？
赞一下 回复此楼
3楼2013-01-27 14:05:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

limeiyu53

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
应该是蚀刻出了问题，至于是不是显影出了问题显影完在显微镜下看一下就知道了
赞一下 回复此楼
4楼2013-01-27 16:44:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 11 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律 +11 医学老男孩 2026-08-13 29/1450 2026-08-14 00:04 by 大快人心啦
[基金申请] 静等基金结果 +8 gjjjzhong 2026-08-10 21/1050 2026-08-13 17:56 by 且听虎啸
[基金申请] FileCode能看出啥？ +10 要乐观耀哥 2026-08-10 28/1400 2026-08-13 17:51 by 医学老男孩
[基金申请] filecode +14 documentary 2026-08-10 16/800 2026-08-13 16:39 by 润生71
[基金申请] Filecode 又变了，巨变 +3 WH3796 2026-08-12 4/200 2026-08-13 14:13 by 小木虫6752397
[基金申请] 分享一下我之前已中青C的计划书的filecode +4 布布和一二 2026-08-11 5/250 2026-08-13 12:56 by cratir
[基金申请] 我的国基提前知道中了，可是同事的操作让我实在接受不了，怎么会有这样的人 +9 家与远方 2026-08-10 14/700 2026-08-13 09:41 by 臭臭不臭01
[基金申请] 结合人工智能，周易传统文化，filecode打分制来了，3分以上希望很大。 +3 Tide man 2026-08-12 4/200 2026-08-13 08:35 by ZJTJZ
[基金申请] 奇怪，两个人的filecode固定段从头到尾一模一样 +7 布布和一二 2026-08-10 10/500 2026-08-12 09:12 by 布布和一二
[基金申请] 综述论文作为代表作会不会影响评审专家的印象分？ +11 yufeiwaner 2026-08-09 13/650 2026-08-12 08:17 by yufeiwaner
[硕博家园] 读博的好处 +3 lnee 2026-08-11 3/150 2026-08-11 18:10 by 希望我好好的
[基金申请] 国自然结果 +4 Vierhys 2026-08-10 8/400 2026-08-10 15:06 by Vierhys
[基金申请] 据悉今年马上要出结果了 +7 瞬息宇宙 2026-08-10 8/400 2026-08-10 12:42 by Vivilian
[基金申请] 这样的filecode谁见过 +11 布布和一二 2026-08-08 22/1100 2026-08-10 11:10 by wmfsnow
[基金申请] 面上项目filecode邪修 +5 西山十月 2026-08-09 7/350 2026-08-10 07:32 by 仁砚薪传
[基金申请] filecode与中标关系的预测 +5 布布和一二 2026-08-07 5/250 2026-08-09 16:15 by 袁向阳007
[基金申请] 关于filecode，很负责任的告诉大家 +6 爱看书的可乐 2026-08-08 7/350 2026-08-08 22:13 by a_niu
[基金申请] 国基金的申报应该改成非等额制，评价高的钱多评价低的钱少，但是增加资助率 +7 a089 2026-08-07 7/350 2026-08-08 18:05 by gltch
[基金申请] 关于filecode +4 布布和一二 2026-08-07 7/350 2026-08-07 22:55 by zhanghaozhu
[基金申请] 化学口download_prp&fileCode的固定段好像这几天一直没变，有变的大神么？ +3 Tide man 2026-08-07 4/200 2026-08-07 22:39 by Tide man
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭