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[求助]
硅衬底上镀镍
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| 本人在做生长碳管的实验，但用镀了镍的硅衬底长成的碳管在SEM下观察时发现，在低倍显微镜下，表面有很多的褶皱，好像是镍膜的褶皱，不知道是什么原因，有谁知道是怎么回事的？跟在下说说原因，不胜感谢！ |
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4楼2013-01-26 21:13:27
mittoefl
铁杆木虫 (正式写手)
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2楼2013-01-26 20:54:30
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
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【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
hwh1990: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-01-26 21:13:40
kunpeng1782: MN-EPI+1, 谢谢你的仔细讲解指导 2013-01-27 11:24:49
感谢参与，应助指数 +1
hwh1990: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-01-26 21:13:40
kunpeng1782: MN-EPI+1, 谢谢你的仔细讲解指导 2013-01-27 11:24:49
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找一批同样的片子，看看镍是否镀的不好。 镍膜和硅片一般结合力都非常好的，想要镍膜出问题，那是需要很大的应力的。而且硅和镍是有合金相的，如果你的片子经过高温，会形成镍硅合金的，镍膜皱褶的可能性就更低了。 你的镍是自己镀的吗？还是买的镀好镍的片子？如果是镀镍的问题，多半是你片子不干净。 会不会是你长碳管的工艺问题？ 最好贴张图，让大家看看分析一下。 |
3楼2013-01-26 21:04:49
5楼2013-01-26 21:36:27
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