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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 硅衬底上镀镍
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hwh1990

铁虫 (小有名气)

[求助] 硅衬底上镀镍

本人在做生长碳管的实验，但用镀了镍的硅衬底长成的碳管在SEM下观察时发现，在低倍显微镜下，表面有很多的褶皱，好像是镍膜的褶皱，不知道是什么原因，有谁知道是怎么回事的？跟在下说说原因，不胜感谢！
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希望还在
1楼 2013-01-26 19:56:25
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回帖置顶 ( 共有1个 )

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
hwh1990: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-01-26 21:13:40
kunpeng1782: MN-EPI+1, 谢谢你的仔细讲解指导 2013-01-27 11:24:49
找一批同样的片子，看看镍是否镀的不好。
镍膜和硅片一般结合力都非常好的，想要镍膜出问题，那是需要很大的应力的。而且硅和镍是有合金相的，如果你的片子经过高温，会形成镍硅合金的，镍膜皱褶的可能性就更低了。
你的镍是自己镀的吗？还是买的镀好镍的片子？如果是镀镍的问题，多半是你片子不干净。
会不会是你长碳管的工艺问题？
最好贴张图，让大家看看分析一下。
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3楼2013-01-26 21:04:49
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

mittoefl

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
hwh1990: 金币+2, ★有帮助 2013-01-26 21:07:43
是不是因为热失配问题
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头都大了
2楼2013-01-26 20:54:30
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普通回帖

hwh1990

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-01-26 21:04:49
找一批同样的片子，看看镍是否镀的不好。
镍膜和硅片一般结合力都非常好的，想要镍膜出问题，那是需要很大的应力的。而且硅和镍是有合金相的，如果你的片子经过高温，会形成镍硅合金的，镍膜皱褶的可能性就更低了。 ...

呵呵，谢谢你的回复，镍是我自己镀的，我一共镀了四片硅，只有一片看起来比较均匀，其他三片都隆起了，甚至还有一片上的镍脱落了，我也怀疑应该是我的硅片不干净，但硅片不干净为什么会出现褶皱或者脱落？是不是因为应力的原因，还是其他什么的？很感谢你的回复
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希望还在
4楼2013-01-26 21:13:27
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hwh1990

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-01-26 21:04:49
找一批同样的片子，看看镍是否镀的不好。
镍膜和硅片一般结合力都非常好的，想要镍膜出问题，那是需要很大的应力的。而且硅和镍是有合金相的，如果你的片子经过高温，会形成镍硅合金的，镍膜皱褶的可能性就更低了。 ...

发张图看看是什么原因

03-10nmNi-21.jpg
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希望还在
5楼2013-01-26 21:36:27
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
hwh1990: 金币+3, ★有帮助 2013-01-27 10:08:37
引用回帖:
4楼: Originally posted by hwh1990 at 2013-01-26 21:13:27
呵呵，谢谢你的回复，镍是我自己镀的，我一共镀了四片硅，只有一片看起来比较均匀，其他三片都隆起了，甚至还有一片上的镍脱落了，我也怀疑应该是我的硅片不干净，但硅片不干净为什么会出现褶皱或者脱落？是不是因 ...

看起来？？  肯定是镀镍的问题了。
你用什么方法镀的镍？
你的硅片是怎么洗的？没有用免洗的新片子吗？
你清洗和镀膜的工作环境是什么样的？
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6楼2013-01-27 02:06:54
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hwh1990

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by yswyx at 2013-01-27 02:06:54
看起来？？  肯定是镀镍的问题了。
你用什么方法镀的镍？
你的硅片是怎么洗的？没有用免洗的新片子吗？
你清洗和镀膜的工作环境是什么样的？...

用离子镀镀的，洗硅片的话都是按照一般的步骤：丙酮、乙醇、去离子水，每步超声10多分钟。那为什么我镀恶四片中有一片却没有褶皱，之后我在这些镀膜硅片上长的碳管都不是碳管而是碳纤维了，这又是为什么呢？
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希望还在
7楼2013-01-27 10:14:18
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by hwh1990 at 2013-01-27 10:14:18
用离子镀镀的，洗硅片的话都是按照一般的步骤：丙酮、乙醇、去离子水，每步超声10多分钟。那为什么我镀恶四片中有一片却没有褶皱，之后我在这些镀膜硅片上长的碳管都不是碳管而是碳纤维了，这又是为什么呢？...

你的片子是重复用的吧，你的清洗方法是没办法洗干净的，只能洗掉比较粗的颗粒和有机物。去搜一下RCA清洗方式，三号液清洗对你来说够用了。
镀四片有一片没有这种属于运气的事情，也许那片你拿的是新片，或者它本身没有怎么被沾污过。
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8楼2013-01-27 12:58:10
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hwh1990

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by yswyx at 2013-01-27 12:58:10
你的片子是重复用的吧，你的清洗方法是没办法洗干净的，只能洗掉比较粗的颗粒和有机物。去搜一下RCA清洗方式，三号液清洗对你来说够用了。
镀四片有一片没有这种属于运气的事情，也许那片你拿的是新片，或者它本身 ...

后面我做了几次实验，发现只要催化剂膜厚超过2nm，就会出现这种情况，看来不是衬底不干净的问题，而是催化剂膜太厚的原因
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希望还在
9楼2013-04-11 16:05:04
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by hwh1990 at 2013-04-11 16:05:04
后面我做了几次实验，发现只要催化剂膜厚超过2nm，就会出现这种情况，看来不是衬底不干净的问题，而是催化剂膜太厚的原因...

催化剂膜？就是你说的镍膜？
2nm，一点儿都不厚啊，不应该出现你说的那个现象的。
为什么厚就会有褶皱呢？没有可靠的解释啊。
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10楼2013-04-11 18:59:49
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