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hwh1990

铁虫 (小有名气)

[求助] 硅衬底上镀镍

本人在做生长碳管的实验,但用镀了镍的硅衬底长成的碳管在SEM下观察时发现,在低倍显微镜下,表面有很多的褶皱,好像是镍膜的褶皱,不知道是什么原因,有谁知道是怎么回事的?跟在下说说原因,不胜感谢!
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yswyx

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
hwh1990: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-01-26 21:13:40
kunpeng1782: MN-EPI+1, 谢谢你的仔细讲解指导 2013-01-27 11:24:49
找一批同样的片子,看看镍是否镀的不好。
镍膜和硅片一般结合力都非常好的,想要镍膜出问题,那是需要很大的应力的。而且硅和镍是有合金相的,如果你的片子经过高温,会形成镍硅合金的,镍膜皱褶的可能性就更低了。
你的镍是自己镀的吗?还是买的镀好镍的片子?如果是镀镍的问题,多半是你片子不干净。
会不会是你长碳管的工艺问题?
最好贴张图,让大家看看分析一下。
3楼2013-01-26 21:04:49
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mittoefl

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
hwh1990: 金币+2, 有帮助 2013-01-26 21:07:43
是不是因为热失配问题
头都大了
2楼2013-01-26 20:54:30
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hwh1990

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-01-26 21:04:49
找一批同样的片子,看看镍是否镀的不好。
镍膜和硅片一般结合力都非常好的,想要镍膜出问题,那是需要很大的应力的。而且硅和镍是有合金相的,如果你的片子经过高温,会形成镍硅合金的,镍膜皱褶的可能性就更低了。 ...

呵呵,谢谢你的回复,镍是我自己镀的,我一共镀了四片硅,只有一片看起来比较均匀,其他三片都隆起了,甚至还有一片上的镍脱落了,我也怀疑应该是我的硅片不干净,但硅片不干净为什么会出现褶皱或者脱落?是不是因为应力的原因,还是其他什么的?很感谢你的回复
希望还在
4楼2013-01-26 21:13:27
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hwh1990

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-01-26 21:04:49
找一批同样的片子,看看镍是否镀的不好。
镍膜和硅片一般结合力都非常好的,想要镍膜出问题,那是需要很大的应力的。而且硅和镍是有合金相的,如果你的片子经过高温,会形成镍硅合金的,镍膜皱褶的可能性就更低了。 ...

发张图看看是什么原因

03-10nmNi-21.jpg

希望还在
5楼2013-01-26 21:36:27
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yswyx

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【答案】应助回帖

★ ★ ★
hwh1990: 金币+3, 有帮助 2013-01-27 10:08:37
引用回帖:
4楼: Originally posted by hwh1990 at 2013-01-26 21:13:27
呵呵,谢谢你的回复,镍是我自己镀的,我一共镀了四片硅,只有一片看起来比较均匀,其他三片都隆起了,甚至还有一片上的镍脱落了,我也怀疑应该是我的硅片不干净,但硅片不干净为什么会出现褶皱或者脱落?是不是因 ...

看起来??  肯定是镀镍的问题了。
你用什么方法镀的镍?
你的硅片是怎么洗的?没有用免洗的新片子吗?
你清洗和镀膜的工作环境是什么样的?
6楼2013-01-27 02:06:54
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hwh1990

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by yswyx at 2013-01-27 02:06:54
看起来??  肯定是镀镍的问题了。
你用什么方法镀的镍?
你的硅片是怎么洗的?没有用免洗的新片子吗?
你清洗和镀膜的工作环境是什么样的?...

用离子镀镀的,洗硅片的话都是按照一般的步骤:丙酮、乙醇、去离子水,每步超声10多分钟。那为什么我镀恶四片中有一片却没有褶皱,之后我在这些镀膜硅片上长的碳管都不是碳管而是碳纤维了,这又是为什么呢?
希望还在
7楼2013-01-27 10:14:18
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yswyx

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引用回帖:
7楼: Originally posted by hwh1990 at 2013-01-27 10:14:18
用离子镀镀的,洗硅片的话都是按照一般的步骤:丙酮、乙醇、去离子水,每步超声10多分钟。那为什么我镀恶四片中有一片却没有褶皱,之后我在这些镀膜硅片上长的碳管都不是碳管而是碳纤维了,这又是为什么呢?...

你的片子是重复用的吧,你的清洗方法是没办法洗干净的,只能洗掉比较粗的颗粒和有机物。去搜一下RCA清洗方式,三号液清洗对你来说够用了。
镀四片有一片没有这种属于运气的事情,也许那片你拿的是新片,或者它本身没有怎么被沾污过。
8楼2013-01-27 12:58:10
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hwh1990

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
8楼: Originally posted by yswyx at 2013-01-27 12:58:10
你的片子是重复用的吧,你的清洗方法是没办法洗干净的,只能洗掉比较粗的颗粒和有机物。去搜一下RCA清洗方式,三号液清洗对你来说够用了。
镀四片有一片没有这种属于运气的事情,也许那片你拿的是新片,或者它本身 ...

后面我做了几次实验,发现只要催化剂膜厚超过2nm,就会出现这种情况,看来不是衬底不干净的问题,而是催化剂膜太厚的原因
希望还在
9楼2013-04-11 16:05:04
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yswyx

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引用回帖:
9楼: Originally posted by hwh1990 at 2013-04-11 16:05:04
后面我做了几次实验,发现只要催化剂膜厚超过2nm,就会出现这种情况,看来不是衬底不干净的问题,而是催化剂膜太厚的原因...

催化剂膜?就是你说的镍膜?
2nm,一点儿都不厚啊,不应该出现你说的那个现象的。
为什么厚就会有褶皱呢?没有可靠的解释啊。
10楼2013-04-11 18:59:49
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