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ciompman

铁杆木虫 (职业作家)

[求助] 【求助】AZ9260光刻胶的性能参数

有没有虫友知道：

AZ9260光刻胶的表面张力（surface tension）、动力学粘度（dynamic viscosity）、接触角（contact angle）、密度（density）这四个参数是多少？

多谢！
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1楼 2013-01-24 10:11:26
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qq36224

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by rooinlee at 2013-01-24 10:51:57
密度（density）1,07 g/cm^3 at 20 °C
Flash point : 40 °C   Method: DIN 51755 (closed cup)
===================
表面张力（surface tension）
动力学粘度（dynamic viscosity）
接触角（contact angle） ...

请问能够光刻，便于加工，在632.8nm波长下折射率在1.35--1.37左右的 有哪些材料啊?
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7楼2014-04-14 11:09:33
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rooinlee

木虫 (正式写手)

天一阁主

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ciompman: 金币+5, ★★★很有帮助, 多谢帮助。 2013-01-24 12:05:58
密度（density）1,07 g/cm^3 at 20 °C
Flash point : 40 °C   Method: DIN 51755 (closed cup)
===================
表面张力（surface tension）
动力学粘度（dynamic viscosity）
接触角（contact angle）
【个人认为，这三个参数不是光刻胶本身的物理参数，和基底有很大关系，datesheet不会给出的，最好自己测量比较好。】
==================
光刻工艺参考：http://www.nanofab.utah.edu/svn/ ... 260_photoresist.pdf
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2楼2013-01-24 10:51:57
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ciompman

铁杆木虫 (职业作家)
引用回帖:
2楼: Originally posted by rooinlee at 2013-01-24 10:51:57
密度（density）1,07 g/cm^3 at 20 °C
Flash point : 40 °C   Method: DIN 51755 (closed cup)
===================
表面张力（surface tension）
动力学粘度（dynamic viscosity）
接触角（contact angle） ...

多谢回复。你知道AZ9260的表面张力是多少吗--测量值。
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3楼2013-01-24 15:38:43
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jin151

木虫 (著名写手)
楼主用光刻胶做什么东西？我是做光子晶体的，可以交流一下么
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4楼2013-01-26 11:51:52
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