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ciompman铁杆木虫 (职业作家)
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[求助]
【求助】AZ9260光刻胶的性能参数
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有没有虫友知道： AZ9260光刻胶的表面张力（surface tension）、动力学粘度（dynamic viscosity）、接触角（contact angle）、密度（density）这四个参数是多少？ 多谢！ |
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ciompman
铁杆木虫 (职业作家)
- 应助: 36 (小学生)
- 贵宾: 0.006
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- 散金: 3765
- 红花: 21
- 帖子: 3828
- 在线: 911小时
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- 注册: 2009-10-20
- 性别: MM
- 专业: 半导体光电子器件
3楼2013-01-24 15:38:43
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ciompman: 金币+5, ★★★很有帮助, 多谢帮助。 2013-01-24 12:05:58
感谢参与，应助指数 +1
ciompman: 金币+5, ★★★很有帮助, 多谢帮助。 2013-01-24 12:05:58
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密度（density）1,07 g/cm^3 at 20 °C Flash point : 40 °C Method: DIN 51755 (closed cup) =================== 表面张力（surface tension） 动力学粘度（dynamic viscosity） 接触角（contact angle） 【个人认为，这三个参数不是光刻胶本身的物理参数，和基底有很大关系，datesheet不会给出的，最好自己测量比较好。】 ================== 光刻工艺参考：http://www.nanofab.utah.edu/svn/ ... 260_photoresist.pdf |
2楼2013-01-24 10:51:57
jin151
木虫 (著名写手)
- 应助: 33 (小学生)
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- 注册: 2009-09-03
- 性别: GG
- 专业: 光学
我是做光子晶体的，可以交流一下么4楼2013-01-26 11:51:52
cloudfeng
木虫 (正式写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
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- 在线: 297.9小时
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- 注册: 2010-11-02
- 性别: GG
- 专业: 激光
5楼2013-12-16 15:34:17
