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ciompman铁杆木虫 (职业作家)
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[求助]
【求助】AZ9260光刻胶的性能参数
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有没有虫友知道： AZ9260光刻胶的表面张力（surface tension）、动力学粘度（dynamic viscosity）、接触角（contact angle）、密度（density）这四个参数是多少？ 多谢！ |
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【答案】应助回帖
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感谢参与，应助指数 +1
ciompman: 金币+5, ★★★很有帮助, 多谢帮助。 2013-01-24 12:05:58
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ciompman: 金币+5, ★★★很有帮助, 多谢帮助。 2013-01-24 12:05:58
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密度（density）1,07 g/cm^3 at 20 °C Flash point : 40 °C Method: DIN 51755 (closed cup) =================== 表面张力（surface tension） 动力学粘度（dynamic viscosity） 接触角（contact angle） 【个人认为，这三个参数不是光刻胶本身的物理参数，和基底有很大关系，datesheet不会给出的，最好自己测量比较好。】 ================== 光刻工艺参考：http://www.nanofab.utah.edu/svn/ ... 260_photoresist.pdf |
2楼2013-01-24 10:51:57