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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光胶AZ50XT
汕头大学海洋科学接受调剂
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wxa616

银虫 (小有名气)

[求助] 光胶AZ50XT

有没人用过AZ50XT的光胶啊  为什么显影要那么久    前烘115℃就会产生气泡  应该哄多久啊  就指教
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无咎无誉
1楼 2013-01-23 14:47:12
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hustjohn

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

我以前用过AZ40XT，单次旋胶大概70um左右的厚度
跟你工艺的不同，一个是前烘是126°C，10分钟；再一个显影用的AZ726MIF，大概显影4~5分钟。

没觉得难用啊。我做的70um的厚度，气泡多少都会有一些。调一下曝光剂量或许有惊喜，但是想完全消除气泡，我反正是没成功过。
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16楼2013-02-25 16:17:06
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rooinlee

木虫 (正式写手)

天一阁主

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
气泡的产生的可能原因：
1.甩胶那一步就已经有气泡了，只不过前烘让气泡更加明显。避免气泡的方法就是涂胶的时候柔和缓慢。
2.前烘温度不合理。你是在hot plate进行？还是烤箱，还是恒温箱？
3.温度和事件的选择要根据说明书来选。和基底，胶的厚度等有很大关系的。

祝你进展顺利~
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2楼2013-01-23 14:50:38
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wxa616

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by rooinlee at 2013-01-23 14:50:38
气泡的产生的可能原因：
1.甩胶那一步就已经有气泡了，只不过前烘让气泡更加明显。避免气泡的方法就是涂胶的时候柔和缓慢。
2.前烘温度不合理。你是在hot plate进行？还是烤箱，还是恒温箱？
3.温度和事件的选择 ...

在Hotplate上  说明书上写的就是115℃  还是10分钟  烘完后光胶变得很硬  在显影那步就很难显  求
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无咎无誉
3楼2013-01-23 15:04:18
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rooinlee

木虫 (正式写手)

天一阁主

【答案】应助回帖

hotplate这种东西的加热方式很不均匀，说不好115是表面温度还是哪里温度。个人感觉你的10分钟偏长了，有一部分光刻胶都干了，甚至糊了，所以导致显影困难。

可以尝试一下缩短前烘时间。

我的操作中S1813胶，前烘温度和你差不多，时间都是一两分钟的，没有超过三分钟的。
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4楼2013-01-23 15:10:21
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