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Out gassing
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帮忙翻译下“Out gassing ”的意思 黄光process中hard bake 的功效，其中有一条 Remove water & Solvent,But this is not necessary.(I/I layer is necessary : Out gassing issue)。 Out gassing --是指hard bake中气体的挥发性吗？ |
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2楼2013-01-14 13:05:57
chinamars
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3楼2013-01-14 15:31:33