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椭偏测量

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1楼 2013-01-09 21:10:45

已阅关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

mengyonghong

银虫 (小有名气)

应助: 11 (小学生)
金币: 776.8
红花: 3
帖子: 102
在线: 32.5小时
虫号: 2249262
注册: 2013-01-19
性别: GG
专业: 光学

【答案】应助回帖

★ ★ ★
wizardfan: 金币+3, 谢谢分享经验，春节快乐 2013-02-11 07:40:05

纳米薄膜厚度测量方法可分为两大类：触针式和光学非接触式；
（1）触针式
原理是：采用某种形式的探测针尖在被测样品表面发生扫描，如果样品表面存在台阶式的薄膜，则探针会产生上下的唯一，这种唯一通过数据处理的方式就可以转化为薄膜的厚度。
这种方法最大的特点是：a）接触式；b）有破坏性，对样品（尤其是柔性样品）有伤害；c）如果样品表面粘性很强，则测量很困难；d）要求样品表面要制备出台阶来，因此适合单层样品。
这种方法包括：a）台阶仪：厚度测量范围为50nm - 50um，精度为50nm；b）AFM：厚度测量范围0.01-500nm，三维精度可达0.1nm；
（2）光学非接触式
   原理：利用探测光波射到样品表面上，然后通过光与物质的相互作用（如强度、频率、干涉、偏振等方式），出射光波中含有样品的厚度等信息，通过分析就可以得到膜层厚度。
   特点：：a）非接触式；b）对样品无破坏，适合柔性样品；c）样品直接制备膜层就可以测量，因此适合单层或多层样品。
   方法包括：a）椭偏仪：这是最常用的纳米薄膜测量手段，膜厚测量范围为0.1nm - 5um；精度可达0.5nm，设和测量各种纳米薄膜，单层或多层，很薄膜和很厚的、各种材料（金属、半导体、绝缘体），另外还可以同时得到材料的光学性质（n、k）、孔隙率、合金膜层的成分等；b）膜厚仪（或称白光干涉仪）：常见波段的厚度测量范围50nm-50um，有些波段下，可测量更厚的薄膜，膜厚测量精度为几nm，这种方法适合测量比较厚的薄膜（>50nm），以及单层薄膜；
   希望对有用，如有疑问，可联系我。