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wshuangc

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dengmoyuan

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
wizardfan: 金币+2, 谢谢参与 2013-01-22 01:05:41
我记得好像是电镜,用软件测孔径,求平均值
2楼2013-01-21 21:11:42
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beijingec123

新虫 (初入文坛)


【答案】应助回帖

短消息我吧,我可以帮你解决薄膜测试的难题!
3楼2013-01-22 15:33:45
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mengyonghong

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
wizardfan: 金币+3, 谢谢分享经验,春节快乐 2013-02-11 07:40:05
纳米薄膜厚度测量方法可分为两大类:触针式和光学非接触式;
(1)触针式
    原理是:采用某种形式的探测针尖在被测样品表面发生扫描,如果样品表面存在台阶式的薄膜,则探针会产生上下的唯一,这种唯一通过数据处理的方式就可以转化为薄膜的厚度。
    这种方法最大的特点是:a)接触式;b)有破坏性,对样品(尤其是柔性样品)有伤害;c)如果样品表面粘性很强,则测量很困难;d)要求样品表面要制备出台阶来,因此适合单层样品。
    这种方法包括:a)台阶仪:厚度测量范围为50nm - 50um,精度为50nm;b)AFM:厚度测量范围0.01-500nm,三维精度可达0.1nm;
(2)光学非接触式
     原理:利用探测光波射到样品表面上,然后通过光与物质的相互作用(如强度、频率、干涉、偏振等方式),出射光波中含有样品的厚度等信息,通过分析就可以得到膜层厚度。
     特点::a)非接触式;b)对样品无破坏,适合柔性样品;c)样品直接制备膜层就可以测量,因此适合单层或多层样品。
     方法包括:a)椭偏仪:这是最常用的纳米薄膜测量手段,膜厚测量范围为0.1nm - 5um;精度可达0.5nm,设和测量各种纳米薄膜,单层或多层,很薄膜和很厚的、各种材料(金属、半导体、绝缘体),另外还可以同时得到材料的光学性质(n、k)、孔隙率、合金膜层的成分等;b)膜厚仪(或称白光干涉仪):常见波段的厚度测量范围50nm-50um,有些波段下,可测量更厚的薄膜,膜厚测量精度为几nm,这种方法适合测量比较厚的薄膜(>50nm),以及单层薄膜;
     希望对有用,如有疑问,可联系我。
4楼2013-02-11 06:47:47
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